產(chǎn)品描述：FSM 500TC 200mm 高溫應(yīng)力測試系統(tǒng)可以幫助研發(fā)和工藝工程師評估薄膜的熱力學(xué)性能和穩(wěn)定性特性

產(chǎn)品簡介:
       FSM 500TC 200mm 高溫應(yīng)力測試系統(tǒng)可以幫助研發(fā)和工藝工程師評估薄膜的熱力學(xué)性能和穩(wěn)定性特性首要任務，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體綠色化，三-五族，太陽能發展，LED,數(shù)據(jù)存儲保持穩定，微機電和面板產(chǎn)業(yè)。這些特性有助于檢測到諸如薄膜開裂面向，空隙支撐作用，突起等可能在生產(chǎn)過程中導(dǎo)致嚴(yán)重的問題。在新工藝和材料投入生產(chǎn)前建設項目，F(xiàn)SM500TC作為檢驗其成熟性的工具最為突出，起著重要的作用。

       FSM 500TC 200mm簡潔的用戶界面講道理，使其很容易被操作人員或者偶爾使用的研發(fā)人員在研發(fā)或者生產(chǎn)環(huán)境下進行室溫和高溫環(huán)境下的應(yīng)力測試發展目標奮鬥。

主要設(shè)計特性：
·  多用途:
兼容50-200mm晶圓，無需要更換樣品載片臺和夾具更多的合作機會，可以在室溫和高溫下測試晶圓應(yīng)力和晶圓彎曲延伸。
·  樣品容易放置和回收
通過使用定位銷使得晶圓很容易放置到 FSM 500TC內(nèi)進行重復(fù)操作
·  自動切換雙波段激光
具有專li的自動激光切換掃描技術(shù).當(dāng)樣品反射率不好時，系統(tǒng)會自動切換到不同波長的另外一只激光進行掃描服務好。這使客戶可以測量包括Nitride新趨勢，Polyimides, Low K，HighK,金屬等薄膜而不會遇到無法測量的問題共謀發展。
·  可編程溫度周期
加熱周期菜單可編程為單個或者多個運行在不同的升溫速率和退火溫度條件下學習，進行薄膜材料的熱穩(wěn)定性檢測。
·  數(shù)據(jù)管理和報告
測試結(jié)果可用應(yīng)力vs溫度聽得懂，應(yīng)力vs時間, 或者晶弓vs溫度為坐標(biāo)生成圖表應用優勢，方便顯示和輸出成 Excel™ 或者 Word格式的報告。熱膨脹系數(shù)計算應(yīng)用是FSM500TC的標(biāo)準(zhǔn)功能。

相互疊加的多個加熱周期高效節能，測試結(jié)果的圖表和MAP可以很容易輸出為Excel或者 Word文檔生成報告更默契了。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體, 光電&液晶面板產(chǎn)業(yè)