Profilm 3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術的經(jīng)濟型光學輪廓儀真正做到，其可以用于多種用途的高精度表面測量科普活動。

Profilm 3D光學輪廓儀具有以下優(yōu)點：

? 價格優(yōu)勢：市場上性價比的白光干涉輪廓儀，價格優(yōu)勢的高精度輪廓儀強化意識。

? 快速測量大面積區(qū)域：測量范圍為毫米級別長期間，配置XY樣品臺達100mm*100mm，可實現(xiàn)大面積樣品的輕松測量現場；

? 簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上高端化，即可直接進行測量；

? 可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學輪廓測量法是一種非接觸式技術，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面用上了。還輕松地測量曲面的表面光潔度提升行動，紋理和粗糙度能力建設。除此之外關註，作為一種非接觸式方法光學輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。

? 無需更換耗材：只需要一個LED光源無障礙，無需其他配件更換連日來；

? 可視化3D功能：Profilm 3D輪廓儀具有強大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度善於監督，形狀和臺階高度的測量外集成技術，還可以任意角度移動樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像更合理。

適用于各類樣品：Profilm 3D輪廓儀適用于各類金屬適應能力、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料各方面、電介質(zhì)防控、硬質(zhì)涂層、高分子聚合物適應性、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測量堅實基礎。

Profilm 3D光學輪廓儀功能：

? 用于測量粗糙度

使用Profilm 3D輪廓儀可以以秒為單位測量表面紋理，光潔度和粗糙度重要作用，只需單擊鼠標即可完成等地。Profilm3D采用白光干涉測量（WLI）和相移干涉測量（PSI）等行業(yè)標準技術，可快速測量大面積2D區(qū)域的粗糙度和紋理尤為突出，無需接觸樣品規定。

? 測量曲面樣品

由于Profilm 3D是一種非接觸式技術，因此可以輕松測量彎曲和其他非平面表面空間載體。另外在測量方法中添加形狀去除（也稱為形狀去除）和過濾供給，即可輕松實現(xiàn)表面光潔度，紋理和粗糙度的測量經驗分享！

? 任何粗糙度參數(shù)標準

Profilm 3D擁有47個ASME / EUR / ISO粗糙度參數(shù)標準解決方案。可以在結果中顯示其中的任何一個或全部有力扭轉，從而使自定義報告變得輕而易舉上高質量。符合ISO 9000和ASME B46.1標準，ISO現(xiàn)在*支持測量表面粗糙度的光學方法廣度和深度。特別是深入交流，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法（其中也稱為相干掃描干涉測量法）。

二、主要功能

主要應用

臺階高度

表面粗糙度

線寬及輪廓

技術能力

厚度范圍臺上與臺下，VSI 50nm-100mm

厚度范圍用的舒心，PSI 0-3 µm

樣品反射率范圍 0.05%-*

Piezo范圍 500 µm

XY平臺范圍100mm x 100mm

三、應用

臺階高度集聚效應、表面形貌前來體驗、表面粗糙度、大面積拼接等