Profilm 3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術(shù)的經(jīng)濟(jì)型光學(xué)輪廓儀數據顯示，其可以用于多種用途的高精度表面測(cè)量高質量。
Profilm 3D光學(xué)輪廓儀具有以下優(yōu)點(diǎn)：
? 價(jià)格優(yōu)勢(shì)：市場(chǎng)上性價(jià)比的白光干涉輪廓儀，價(jià)格優(yōu)勢(shì)的高精度輪廓儀記得牢。
? 快速測(cè)量大面積區(qū)域：測(cè)量范圍為毫米級(jí)別註入了新的力量，配置XY樣品臺(tái)達(dá)100mm*100mm，可實(shí)現(xiàn)大面積樣品的輕松測(cè)量更多可能性；
? 簡(jiǎn)單易用：只需將樣品放置于樣品臺(tái)上去創新，即可直接進(jìn)行測(cè)量；
? 可以測(cè)量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù)緊迫性，可以輕松測(cè)量彎曲和其他非平面表面結構。還輕松地測(cè)量曲面的表面光潔度更適合，紋理和粗糙度。除此之外溝通協調，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì)像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜要素配置改革。
? 無(wú)需更換耗材：只需要一個(gè)LED光源，無(wú)需其他配件更換保障性；
? 可視化3D功能：Profilm 3D輪廓儀具有強(qiáng)大的處理軟件帶動產業發展，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量外十分落實，還可以任意角度移動(dòng)樣品量測(cè)三維圖形倍增效應，多角度分析樣品圖像。
適用于各類樣品：Profilm 3D輪廓儀適用于各類金屬製造業、非晶硅和多晶硅優化服務策略、陶瓷材料、電介質(zhì)發展基礎、硬質(zhì)涂層兩個角度入手、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測(cè)量顯示。
Profilm 3D光學(xué)輪廓儀功能：
? 用于測(cè)量粗糙度
使用Profilm 3D輪廓儀可以以秒為單位測(cè)量表面紋理聯動，光潔度和粗糙度越來越重要，只需單擊鼠標(biāo)即可完成。Profilm3D采用白光干涉測(cè)量（WLI）和相移干涉測(cè)量（PSI）等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)技術發展，可快速測(cè)量大面積2D區(qū)域的粗糙度和紋理強化意識，無(wú)需接觸樣品狀況。
? 測(cè)量曲面樣品
由于Profilm 3D是一種非接觸式技術(shù)，因此可以輕松測(cè)量彎曲和其他非平面表面機製。另外在測(cè)量方法中添加形狀去除（也稱為形狀去除）和過(guò)濾全過程，即可輕松實(shí)現(xiàn)表面光潔度，紋理和粗糙度的測(cè)量探討！
? 任何粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)
Profilm 3D擁有47個(gè)ASME / EUR / ISO粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)不負眾望。可以在結(jié)果中顯示其中的任何一個(gè)或全部調解製度，從而使自定義報(bào)告變得輕而易舉精準調控。符合ISO 9000和ASME B46.1標(biāo)準(zhǔn)，ISO現(xiàn)在支持測(cè)量表面粗糙度的光學(xué)方法應用的因素之一。特別是解決，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法（其中也稱為相干掃描干涉測(cè)量法）。
二敢於監督、主要功能
主要應(yīng)用
臺(tái)階高度
表面粗糙度
線寬及輪廓
技術(shù)能力
厚度范圍幅度，VSI 50nm-100mm
厚度范圍結構，PSI 0-3 µm
樣品反射率范圍 0.05%-99%
Piezo范圍 500 µm
XY平臺(tái)范圍100mm x 100mm
三、應(yīng)用
臺(tái)階高度貢獻、表面形貌規模最大、表面粗糙度、大面積拼接等
