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- 公司名稱 上海艾堯科學(xué)儀器有限公司
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- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2020/10/29 14:59:53
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12寸半導(dǎo)體晶圓原子力顯微鏡
NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡簡(jiǎn)介:
可用于 300mm晶片圓測(cè)量和分析的自動(dòng)化納米測(cè)量工具
Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡,支持300mm×300mm全程機(jī)動(dòng)化提升。新升級(jí)的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)高品質,可有效地檢測(cè)整個(gè)300mm晶圓,且無(wú)需任何繁瑣的樣品位移意料之外。盡管擴(kuò)大了支持300mm樣品的機(jī)動(dòng)XY工作臺(tái)文化價值,但Park的創(chuàng)新性振動(dòng)隔離技術(shù)仍然能夠?qū)⑾到y(tǒng)噪聲保持在低于0.5 (?) RMS,通常是0.3 ? RMS的水平系統。
經(jīng)檢驗(yàn)的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動(dòng)化取消了樣本調(diào)整的需求非常重要,并使Park NX20的掃描過(guò)程盡可能高效和便于使用進一步提升。通過(guò)我們的“批處理模式(Program Mode)”界面空間廣闊,用戶可以在整個(gè)300mmx300mm區(qū)域輕松實(shí)現(xiàn)可靠與可重復(fù)的順序多站點(diǎn)測(cè)量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA改革創新、QA和QC工程師的知識和技能。
專為大樣品晶圓檢測(cè)而建
NX20 300 mm進(jìn)行了全新設(shè)計(jì),可達(dá)到大樣品的測(cè)量新模式。整個(gè)300mm晶圓區(qū)域可進(jìn)行低噪聲原子力顯微鏡測(cè)量分析實現。這開(kāi)啟了一個(gè)全新的自動(dòng)化測(cè)量范圍,讓工程師可以更快捷組織了、更簡(jiǎn)便服務體系、更精確地開(kāi)展工作。
靈活的300mm樣品吸盤
Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸搶抓機遇、形狀和類型的晶圓分析,讓用戶幾乎可準(zhǔn)確掃描任何樣品。
300mm XY軸工作臺(tái)
機(jī)動(dòng)化的300mm XY軸工作臺(tái)允許用戶在300mm的全部區(qū)域內(nèi)移動(dòng)原子力顯微鏡的測(cè)量位置全面闡釋。
NX20 支持300mm樣品臺(tái)非常激烈,性能已被證實(shí)
因其*的易用性和自動(dòng)化以及不受影響的精度,NX20已是FA引人註目、QA和QC工程師的選擇領域。憑借其支持300mm電動(dòng)XY軸工作臺(tái)的擴(kuò)大平臺(tái),NX20 300mm更上一層樓好宣講,允許用戶輕松地以*的精度檢測(cè)更大的樣品註入新的動力。
在完整300mm晶圓上掃描多個(gè)位點(diǎn)
SmartScan™允許用戶從位點(diǎn)到位點(diǎn)和樣品到樣品的層面上,借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式,進(jìn)行自動(dòng)順序測(cè)量與表面形態(tài)雙重提升、高度和表面粗糙度的比較橋梁作用。這可以大大提高掃描大樣品時(shí)的用戶便利性和生產(chǎn)效率。
強(qiáng)大的工作創(chuàng)建功能
格式創(chuàng)建流程簡(jiǎn)單求索,允許工程師設(shè)置每個(gè)批次的位置讓人糾結、名稱、數(shù)量和類型所定義的預(yù)設(shè)空間廣闊。
針對(duì)廣泛應(yīng)用性進(jìn)行優(yōu)化
NX20 300mm為眾多應(yīng)用提供自動(dòng)格式的原子力顯微鏡測(cè)量至關重要,為納米級(jí)的樣品提供高級(jí)測(cè)量和分析。具有粗糙度服務品質、高度和深度測(cè)量的發生,缺陷檢查,電氣和磁故障分析影響,熱性能表征和納米力學(xué)性能成像等能力新的動力,該原子力顯微鏡是檢測(cè)大樣品的FA、QA和QC工程師執(zhí)行各種任務(wù)的理想選擇發展契機。
NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡技術(shù)特色:
1)采用非接觸式工作模式:
PARK公司是目前一家真正實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量模式的原子力顯微鏡廠家廣泛關註,在不影響測(cè)量精度的前提下,可實(shí)現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測(cè)量發力,避免了由于針尖磨損帶來(lái)測(cè)量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點(diǎn)優勢領先。
下圖是測(cè)量CrN樣品的實(shí)例,CrN樣品的硬度很高共創美好,具有三角形結(jié)構(gòu)推動並實現,采用非接觸模式測(cè)量100幅圖后,圖像質(zhì)量幾乎無(wú)變化覆蓋範圍,針尖幾乎無(wú)磨損灮潭?。^勇向前!
2)探測(cè)器噪聲水平為業(yè)界低:0.02nm
Z軸探測(cè)器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進(jìn)之一,它是Park的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲不斷豐富,它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲低的Z軸探測(cè)器,檢測(cè)原子臺(tái)階及其容易。
3)采用性能平板掃描器:采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器數據,在整個(gè)80μm的掃描范圍內(nèi)誤差<1nm !!!!
4)操作極其簡(jiǎn)單:
- 具有“智能掃描模式”Smart scan:這是PARK公司的技術(shù)之一創新的技術,用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍,系統(tǒng)即可自動(dòng)調(diào)整反饋,無(wú)需尋找共振峰,無(wú)需調(diào)整反饋參數(shù)gain值
- 具有中文顯著,英文等多種操作界面
- 憑借著我們*的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架快速增長,懸臂在裝載時(shí)激光便已完成聚焦。并且占,自上而下的同軸視角(行業(yè))讓您可以輕松地找到激光光點(diǎn)高質量。由于激光垂直照射在懸臂上提供了有力支撐,您可以憑直覺(jué)旋動(dòng)兩個(gè)定位旋鈕,將激光光點(diǎn)隨著X軸和Y軸移動(dòng)前景。這樣實事求是,您可以在激光準(zhǔn)直界面中,輕易地找到激光并將其定位在PSPD上落到實處。此時(shí)服務水平,您只需要稍作調(diào)整實(shí)現(xiàn)信號(hào)的大化,便可開(kāi)始獲取數(shù)據(jù)技術創新。
5)工業(yè)級(jí)別的XEA軟件:具有自動(dòng)識(shí)別處理方法,自動(dòng)掃描,自動(dòng)分析功能持續向好,大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費(fèi)的時(shí)間習慣。
6)導(dǎo)電原子力顯微鏡:
Park導(dǎo)電原子力顯微鏡在市場(chǎng)中競(jìng)爭(zhēng)力,不但有著全行業(yè)低的電流噪聲進展情況,且增益范圍也是大的積極性,并且可實(shí)現(xiàn)電流快速掃描功能,是半導(dǎo)體測(cè)試電流的標(biāo)準(zhǔn)至關重要。
- 業(yè)內(nèi)低的電流噪聲(50fA)
- 業(yè)內(nèi)大的電流(10mA)
NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù):
- XY閉環(huán)掃描范圍大:達(dá)100μm*100μm
- Z向閉環(huán)掃描范圍大:達(dá)15μm
- 超高的測(cè)量分辨率:可達(dá)0.02nm
- 全自動(dòng)掃描范圍:300mm*300mm
- 具有快速掃描功能:達(dá)50Hz
NX20-300型半導(dǎo)體原子力顯微鏡部分測(cè)試實(shí)例:
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