產(chǎn)品型號

1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下責任製，溫度25℃±15℃十分落實，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1規則製定、水：不需要

2製造業、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3發揮效力、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體新格局，需自備氣瓶氣源

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm安全鏈，承重150kg以上

5顯示、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體真正做到，配有風(fēng)冷系統(tǒng)科普活動，殼體溫度<55℃。

2強化意識、采用高純氧化鋁纖維長期間，有效減少熱量損失。

3現場、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層高端化，可以提高加熱效率和使用壽命。

4我有所應、采用PID控制器 提單產，可以設(shè)置30段升降溫程序深入實施。

5、已通過CE認(rèn)證精準調控。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1功能、電源：單相AC 208V-240V   50Hz/60Hz  6KW

2、爐管：高純氧化鋁陶瓷管解決，外徑Ø100mm預期，內(nèi)徑Ø92mm，長1000mm

3幅度、加熱元件：1800℃硅鉬棒8根

4結構、加熱區(qū)域：457mm

5、恒溫區(qū)域：150mm

6貢獻、工作溫度：1650℃更優美，連續(xù)工作1600℃

7、大升溫速率：≤5℃/min

8防控、控溫精度：±1℃

9、熱電偶：B型

10適應性、不銹鋼真空法蘭：1對

11堅實基礎、機(jī)械壓力表：1個(gè)

12、針閥：2個(gè)

13重要作用、連接器：KF-25等地，1個(gè)

14、抽氣接口：KF-25轉(zhuǎn)KF-40

15尤為突出、卡套接頭：1/4″

高真空機(jī)組

1規定、電源：單相AC208V-240V  50Hz/60Hz  100W-110W

2、真空泵：德國Pfeiffer真空泵

3空間載體、顯示屏：LCD數(shù)字顯示

4高質量、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s重要組成部分，H₂-32L/s

5流程、工作范圍：1000mtorr-10^-7mtorr

6、極限：10^-8mtorr（無泄漏）

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1勃勃生機、電源：單相AC208V-240V  50Hz/60Hz   18W

2助力各業、功率：18W

3、混氣箱：Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm提供有力支撐，高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm應用，

　　　質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm