產(chǎn)品型號

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃至關重要，濕度55%Rh±10%Rh下使用發展空間。

1、水：不需要

2有所應、電：AC220V 50Hz足了準備，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體認為，需自備氣瓶氣源

4系統、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5重要意義、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1交流等、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命規劃。

2提高、輝光放電等離子體中電子密度可達(dá)109cm³-1012cm³。

3進入當下、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍紮實。

4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)新體系，可準(zhǔn)確地控制氣體流量等地。

5、一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥尤為突出。

6規定、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分，可手動控制混合氣體的輸入空間載體。

7高質量、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1重要組成部分、電源：AC220V  4KW

2流程、爐管：Ø50mm，Ø60mm勃勃生機，Ø80mm都可用

3助力各業、溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

4、加熱區(qū)：440mm

5廣度和深度、恒溫區(qū)：150mm

等離子射頻電源

1深入交流、輸入功率：AC220V  1KW

2、輸出功率：50W-500W可調(diào)加強宣傳，±1%

3臺上與臺下、RF頻率：13.56MHz

4、噪聲：≤55DB

5技術發展、冷卻：風(fēng)冷

真空泵和質(zhì)量流量計(jì)

1集聚效應、真空度：10^-3torr

2、波紋管：KF25系列

3重要手段、質(zhì)量流量計(jì)：0-200互動講，誤差0.02%，進(jìn)氣口采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡頭

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm像一棵樹，供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm

重量：120kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)