產(chǎn)品型號

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃方式之一，濕度55%Rh±10%Rh下使用生動。

1、水：不需要

2創新能力、電：AC220V 50Hz新品技，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內(nèi)需充注氣體廣度和深度，需自備氣瓶氣源

4深入交流、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5顯示、通風裝置：需要

主要特點

1雙向互動、雙層Al₂O₃纖維鋼構，無需水冷或風冷設計能力。

2品牌、內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命更為一致。

3等形式、PID控制器技術的開發，可以設置30段升降溫程序，并設有過熱保護和斷偶功能飛躍。

4更高效、已通過CE認證。

技術參數(shù)

1重要部署、電源：單相208V-240V AC  50Hz/60Hz  10KW

2具體而言、石英管：外徑Ø110mm，內(nèi)徑Ø103mm智慧與合力，長380mm

3喜愛、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm開放要求，絲圈Ø10mm向好態勢，燈長300mm

4、加熱區(qū)：300mm

5服務機製、工作溫度：溫度1100℃

6貢獻力量、控溫精度：±0.5℃

7、升溫速度：RT-800℃時為50℃/s大幅拓展，800℃-1000℃時為10℃/s

8發行速度、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動控制

9、真空法蘭：不銹鋼積極性，帶有水冷接口和針閥奮勇向前，雙層高溫O型圈密封不斷豐富，長時間在>900℃條件下運行必須采用水　冷多元化服務體系，循環(huán)水流量為0.5m³/hr

10、真空度：10^-2torr（機械泵）擴大公共數據，10^-5torr（分子泵）

11深度、質(zhì)量流量計：3個，MFC1范圍0-100sccm核心技術體系，MFC2范圍0-200sccm開拓創新，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS

12必然趨勢、混氣罐：Ø80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：爐體760mm×330mm×530mm促進善治，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)75kg