產(chǎn)品名稱(chēng)

VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-600-3HD

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下重要的意義，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用等多個領域。

1再獲、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC220V 50Hz應用擴展，必須有良好接地

3體驗區、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套

       接頭）及減壓閥

4活動上、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm有望，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1生產能力、配置三個(gè)靶槍?zhuān)粋€(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜標準，兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換）。

2堅持好、可制備多種薄膜即將展開，應(yīng)用廣泛。

3特性、體積小傳承，操作簡(jiǎn)便等特點。

4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)綠色化發展，真空腔室至關重要、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì)用上了，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整提升行動。

5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源關註，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍?zhuān)部啥鄠€(gè)電源單一控制靶槍研究進展。

技術(shù)參數(shù)

1、電源電壓：220V  50Hz

2連日來、總功率：＜2.5KW

3快速融入、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到 E-5mbar）

4、工作溫度：RT-500℃系統，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）

5增強、靶槍數(shù)量：3個(gè)

6、靶槍冷卻方式：水冷

7交流等、靶材尺寸：Ø2″更加廣闊，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）

8、直流濺射功率：500W（可選）

9數字化、射頻濺射功率：300W/500W（可選）

10方便、載樣臺(tái)：Ø140mm基礎上，可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能各領域，以實(shí)現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。

11保持競爭優勢、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)

12進行培訓、保護(hù)氣體：Ar、N₂等惰性氣體

13長效機製、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣法治力量，1個(gè)流量為100 SCCM，1個(gè)流量為200 SCCM

產(chǎn)品規(guī)格

主機(jī)尺寸：500mm×560mm×660mm分享，整機(jī)尺寸：1300mm×660mm×1200mm共享；重量：160kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

直流電源控制系統(tǒng)

2套

2

射頻電源控制系統(tǒng)

1套

3

膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng)

1套

4

分子泵（德國(guó)進(jìn)口）

1臺(tái)

5

冷水機(jī)

1臺(tái)

6

冷卻水管（Ø6mm）

4根

可選配件

金、銦方式之一、銀生動、鉑等各種靶材

掩膜版

振動(dòng)樣品臺(tái)