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VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開(kāi)發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備有所增加,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜更高要求、合金薄膜越來越重要的位置、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜共同學習、介質(zhì)薄膜順滑地配合、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜效高、硬質(zhì)薄膜前沿技術、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀配備有兩個(gè)靶槍?zhuān)粋€(gè)弱磁靶用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜性能,一個(gè)強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜多種方式。與同類(lèi)設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),且可使用的材料范圍廣邁出了重要的一步,是一款實(shí)驗(yàn)室制備各類(lèi)材料薄膜的理想設(shè)備有序推進。

 

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

主要特點(diǎn)

1、配置兩個(gè)靶槍?zhuān)粋€(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜需求,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜配套設備。

2、可制備多種薄膜相對開放,應(yīng)用廣泛推進高水平。

3、體積小拓展應用,操作簡(jiǎn)便生產創效。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電源:220V/50Hz

2管理、濺射靶數(shù)量:2

3優化上下、靶槍冷卻方式:水冷

4、極限真空度:7.4E-5pa

5模樣、真空室規(guī)格:Φ300×330 mm

6生產體系、真空系統(tǒng):VRD-16機(jī)械泵 FF-100/150渦輪分子泵

7、恢復(fù)真空:系統(tǒng)從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣)

8很重要、充氣系統(tǒng):2路質(zhì)量流量計(jì)(1路氬氣100scc能力和水平、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制

9、濺射靶規(guī)格:Φ2"異常狀況,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)

10研究、樣品臺(tái):Φ140mm/可旋轉(zhuǎn)(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃)

產(chǎn)品規(guī)格

主機(jī)尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm


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