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用于材料表面光電流分布特性的激光共聚焦光電流成像光譜系統(tǒng)，帶低溫探針臺系統。
XperRam Photocurrent光電流成像光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
Nanobase的光電流成像系統(tǒng)XperRam Photocurrent Mapping system 利用了顯微成像掃描技術增強，對樣品表面做一個快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到電流源表交流等，再顯示在軟件界面更加廣闊，做成成像圖顯示樣品表面電流分布。
光電流成像系統(tǒng)Photocurrent Mapping System 又稱為掃描光電流顯微成像系統(tǒng)提高，用來檢測材料光電流強度分布的設備可以使用，主要用來測量光電材料的光電響應信號和表征材料的光電特征進入當下。XperRam Photocurrent Mapping system 光電流成像系統(tǒng)將光電材料對于光信號響應的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來。該系統(tǒng)可以研究光電探測器的量子效率效高化，器件的電阻分布特征新體系，研究太陽能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性相關性，以及光電材料界面完成的事情，半導體結區(qū)的品質(zhì)分布等物聯與互聯。
整個系統(tǒng)的個構成如下圖穩定，包含光源（激光器或者連續(xù)光源），顯微鏡供給，激光掃描振鏡優勢與挑戰，數(shù)字源表，探針臺和計算機軟件等解決方案。激光通過掃描振鏡趨勢，擴束鏡，經(jīng)過顯微鏡聚焦到樣品表面上高質量，激光激發(fā)產(chǎn)生光電效應（電流）一站式服務，電流信號通過探針引出至電流源表，再讀出至電腦軟件深入交流，掃描時引領作用，振鏡是通過偏振光控制器控制，激光的光斑再樣品的XY方向上掃描移動臺上與臺下，軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應的電流值用的舒心，在軟件的一側(cè)，同步描繪出光電流成像圖集聚效應，顯示了樣品的電流分布集成。
功能描述
l 光電流成像（Photocurrent Measurement and Imaging ）
光電流系統(tǒng)探針臺 三星光電院定制的光電流系統(tǒng)
光電流成像圖和電流計數(shù)值
簡易光電流平臺（Side plate） Positioner Holder 探針
產(chǎn)品特點
? 超快掃描成像（大于1000譜/S）
? 超緊湊結構（光電流掃描成像和顯微鏡一體式設計）
? 成本低（客戶僅需要在原來的探針臺或者拉曼設備上做改造就可以，不需要額外購買平移臺互動講，這是振鏡掃描的優(yōu)勢所在）
? 可視化和人性化軟件（定制研發(fā)了電流源表輸出和成像掃描視覺窗口穩定性，客戶在一個界面實現(xiàn)光電流數(shù)據(jù)和成像mapping的對比比較方便）
? 可擴展增加其它波長的激光器，增加拉曼光譜過程中，熒光光譜成像系統(tǒng)等
? 可增加高低溫恒溫器去突破，鎖相放大器，斬波器等
基本參數(shù)
激光器（光源） | l 可配置1~3個激光器重要部署，窄線寬激光器用于拉曼光譜測試和光電流測試 l 波長范圍： 400~1550nm （典型的為 VIS: 405nm/532nm/633nm, NIR :1550nm） l 可選配一個光纖接口用于接入外部激光器光源 l 可選配超連續(xù)譜白光激光器（400nm~2400nm） |
顯微鏡 | l 奧林巴斯顯微鏡：BX61 （正置）（可根據(jù)客戶要求選配） l 反射式/透射式LED照明 l 物鏡：標配（40X具體而言， NA=0.75） 選配：多種倍率和超長焦距物鏡 l 透過率：＞60% （360nm~1000nm） |
掃描模塊 | l 掃描面積：200um×200um l 掃描精度： 小于10nm l 步進：＜50nm l 掃描速度：＞1000 譜/秒 |
電流 | l 測量范圍：1pA – 1A l 準確度： 0.04% l 電流源表：Keithley 2400 |
探針臺 | l 可根據(jù)客戶要求定制 |
其它 | l 低溫恒溫器（2.2K）/高溫熱臺（1500℃） l 根據(jù)客戶要求定制探針臺 l 可選配斬波器，前置放大器智慧與合力，鎖相放大器等提高系統(tǒng)靈敏度 |
探針臺參數(shù)：
探針臺 | 6寸真空吸附卡盤喜愛， |
光譜范圍 | 750px-1到150000px-1 |
XY方向移動范圍 | 150 x 150mm, 分辨率5um FOV：200µm x 200µm@40X物鏡 |
Z方向移動范圍 | 上/下10mm, 分辨率1um |
探針頭 | 金醒悟，鎢 |
高精度定位器 | PH-C15, 10fA leakage current 4SET |
應用領域
石墨烯，二維材料高質量，半導體工業(yè)也逐步提升，結晶度分析，太陽能電池註入了新的力量，儲能材料重要的作用，探測器光電性能檢測，晶圓體分析去創新，探測器檢測足夠的實力，器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性。
相關文獻
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