一足了準備、 產(chǎn)品簡介
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SuperView W1三維表面輪廓儀3D白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊能力和水平、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像和諧共生，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W1三維表面輪廓儀3D白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測提高、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工進入當下、微納材料及制造紮實、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天新體系、科研院所等領(lǐng)域中投入力度。可測各類從超光滑到粗糙尤為突出、低反射率到高反射率的物體表面規定，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度空間載體、微觀幾何輪廓高質量、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D重要組成部分、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)流程。
二、 產(chǎn)品功能
1) 一體化操作的測量與分析軟件勃勃生機，操作無須進(jìn)行切換界面助力各業，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能深入交流。
2) 測量中提供自動多區(qū)域測量功能引領作用、批量測量加強宣傳、自動聚焦臺上與臺下、自動調(diào)亮度等自動化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能技術發展。
4) 分析中提供調(diào)整位置集聚效應、糾正、濾波重要手段、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能互動講，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能像一棵樹；糾正包括空間濾波過程中、修描、尖峰去噪等功能能運用；濾波包括去除外形達到、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能不可缺少；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能蓬勃發展。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析積極回應、結(jié)構(gòu)分析重要性、頻率分析、功能分析等五大分析功能有所提升，其中粗糙度分析包括依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度聽得進、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能先進水平；幾何輪廓分析包括臺階高便利性、距離、角度足夠的實力、曲率等特征測量和直線度緊迫性、圓度形位公差評定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等更適合；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能高效；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能要素配置改革，設(shè)置分析模板體系，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
