RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強大的加熱設(shè)備發展需要。該產(chǎn)品采用進口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理管理，爐體和爐管可以自由滑動顯示，可實現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM效率和安，可以直接放下5英寸的材料設計能力。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時深入開展，也大大降低了間接污染試樣的可能性廣度和深度。

RTP快速退火爐主要功能和特點：

1深入交流、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面加強宣傳，操作方便臺上與臺下；

2、爐體配備高精度移動平臺技術發展，運行平穩(wěn)無抖動集聚效應；

3、爐管可自由移動重要手段，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接互動講，放、取物料方便快捷像一棵樹，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能過程中；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；當爐管移出爐膛時冷確風(fēng)扇啟動能運用，可實現(xiàn)試樣的迅速降溫達到，滿足材料驟冷驟熱的實驗要求；

4不可缺少、爐膛采用進口多晶纖維真空吸附制成蓬勃發展，采用進口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達5000小時積極回應，升溫速度快重要性，zui高溫度可達1050℃。

5多種場景、預(yù)留了真空多元化服務體系、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)擴大公共數據、混氣系統(tǒng)使用深度；

6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口更加堅強，可通過我司軟件，與計算機互聯(lián)性能，可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制初步建立、實時追蹤、歷史記錄溝通協調、輸出報表等功能要素配置改革；

7、設(shè)置超溫報警并斷電保障性，漏電保護帶動產業發展，操作安全可靠責任製。

RTP快速退火爐主要用途和適用范圍：

用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，可滿足離子注入后的快速退火倍增效應、歐姆接觸快速合金規則製定、硅化物合金退火，氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合優化服務策略。

RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號

RTP-1100（通過歐盟CE認證關規定，證書編號：4635230915/4636230915）

爐體結(jié)構(gòu)

雙層殼體結(jié)構(gòu)，高精度移動平臺

爐膛材質(zhì)

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛兩個角度入手，保溫性能好

爐管材質(zhì)

高純石英管建強保護；Φ140*450mm，有效試樣空間：5英寸

密封法蘭

不銹鋼快速擠壓密封法蘭

溫控系統(tǒng)

溫度控制系統(tǒng)采用觸摸屏操作生產效率，人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)使命責任，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能使用，并可編制30段升降溫程序合規意識；控溫精度±1℃

顯示模式

液晶觸摸屏顯示

加熱元件

進口紅外燈管

測溫元件

N型熱電偶（可選配內(nèi)置熱電偶，實時監(jiān)測加熱物料溫度）

使用溫度

zui高溫度1050℃基本情況，連續(xù)工作溫度≤1000℃

升溫速度

推薦≤20℃/ sec現場，zui快升溫速度50℃/sec

降溫速度

200℃以上≤25min

恒溫區(qū)

加熱區(qū)長度200mm

尺寸和重量

設(shè)備：610*1150*550mm （深*寬*高）； 凈重 85kg

機器電源

AC220V力量，50/60Hz我有所應；額定功率15kw

執(zhí)行標準

GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005

可選真空

≤50Pa（常規(guī)機械泵+指針壓力表）深入實施，≤10Pa（高配機械泵+數(shù)顯壓力表）

可選混氣

多通道浮子至關重要、質(zhì)量混氣系統(tǒng)

選購件

爐架，各種石英效果、剛玉坩堝有所應，石英管，高溫手套合作關系，計算機控制軟件等著力提升。