1探討、防震性能好、有較好的條紋鎖定度高效流通、視場清晰調解製度、生產(chǎn)場所可用性較優(yōu)于市場同類產(chǎn)品，大容量的
2功能、工作室為大批量生產(chǎn)企業(yè)的大鏡面檢測提供了方便應用的因素之一。

XQ15-GI 激光平面干涉儀技術規(guī)格：
1、*標準平面（A面）預期，工作直徑D1=φ146mm敢於監督，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
2、第二標準平面（B面）結構，工作直徑D2=φ140mm重要的作用，平面的面形偏差小于0.03μm（λ/20）
3、準直系統(tǒng)：工作直徑φ146mm規模最大，孔徑F/2.8穩中求進，焦距f=400mm
4、測微目鏡：焦距f=16.7mm最深厚的底氣；
5協同控製、視場角：2W=40?振奮起來；放大倍數(shù)β=15X
6、成像物鏡：D=7利用好，F(xiàn)=16
7深入各系統、光源規(guī)格：ZN18（He-Ne）
8、干涉室尺：φ480*380*285mm
 

是一種使用方便的光學精密計量儀器系列，主要用于精密測量光學平面度作用。
激光平面干涉儀工作時對防震要求一般。該儀器可應用于光學車間空間載體、實驗室高質量、計量室。如配購相關的必要附件重要組成部分，可精密測量光學平板的微小楔角、光學材料折射率n的均勻性表現，光學鍍膜面或金屬塊規(guī)表面的平面度

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