（1）應(yīng)用領(lǐng)域

●計量領(lǐng)域（平面平晶檢測）

●半導(dǎo)體工業(yè)（晶片檢測）

●大平板顯示（平面檢測）

●手機工業(yè)（背板檢測）

●光學(xué)加工（窗口玻璃檢測）

●高精度精密機械（平面元件檢測）

●LED工業(yè)（藍寶石襯底檢測）

●數(shù)據(jù)存儲和科研院校教學(xué)儀器等多種領(lǐng)域學習。

●平面平晶、窗口玻璃聽得懂、光學(xué)平面應用優勢、金屬平面、陶瓷平面等

●光滑表面面形的高精度快速測量要落實好，90°直角棱鏡和角錐測量緊密相關。

                    （2）產(chǎn)品綜述

  無應(yīng)力平面檢測干涉儀是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種更默契了，它采用組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于高效檢測高精度平面培訓。

  該產(chǎn)品包括光源不合理波動、主機、成像以及鏡頭和相移等四大模塊重要工具，主要技術(shù)指標已達到國際水平, 采用更加簡便操作的俯式測量前沿技術，擁有*的測量精度和測量重復(fù)性，突破了一等平面平晶限制性能，且其采樣點可達上百萬像素多種方式，能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高技術創新，而且具有*的測量效率深入交流研討。

  此款干涉儀可廣泛應(yīng)用高精度光學(xué)元件制造、計量檢測廣泛應用、生物醫(yī)學(xué)關註度、航空航天、國防哪些領域、微電子敢於挑戰、能源等眾多領(lǐng)域，具有廣闊的市場前景建立和完善。

                   （3）平面平晶檢測干涉儀參數(shù)性能

◆材質(zhì)均勻性

◆超精密平面/球面面形測量

◆光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)和校準

◆光學(xué)組件透射波前測量

◆光學(xué)均勻性測量

◆平行度測量

◆角錐角度測量

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