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振動(dòng)（Vibration）：

振動(dòng)是指在基準(zhǔn)位置上產(chǎn)生的機(jī)械式搖動(dòng)多元化服務體系，也就是說規劃，構(gòu)造物或地板等受動(dòng)態(tài)外力之后，隨著時(shí)間推移深度，開始從運(yùn)動(dòng)平衡位置產(chǎn)生重復(fù)運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象帶動擴大。

振動(dòng)的分類：

根據(jù)一定時(shí)間內(nèi)出現(xiàn)的次數(shù)不同，振動(dòng)分為周期振動(dòng)和非周期振動(dòng)開拓創新。周期振動(dòng)一般出現(xiàn)在旋轉(zhuǎn)的機(jī)器上持續發展，可通過振幅譜測(cè)量。除此 之外的所有振動(dòng)則屬于非周期振動(dòng)綜合運用，該類振動(dòng)可通過振幅譜密度來測(cè)量。

振動(dòng)源（Vibration Source）：

振動(dòng)的來源大體上有三種 ：

1）地基振動(dòng) ：引發(fā)安裝臺(tái)面的地板搖動(dòng)的所有因素的方法，比如步行、車輛的行駛落到實處、施以建筑物外墻上的風(fēng)壓、空調(diào)設(shè)備等處理方法。

2）聲音干擾 ：由外部噪音等直接給產(chǎn)品帶來影響的因素。

3）直接施加給隔振對(duì)象的干擾 ：在隔振對(duì)象安放的平臺(tái)上直接施力充足，也就是說的積極性，其指的是既是由機(jī)器連接的振動(dòng)源，又是因地基振動(dòng)通過支撐傳達(dá)到平臺(tái)上的外部力量不久前，因與平臺(tái)之上的設(shè)備、裝備相連接的線能力建設、管而產(chǎn)生的振動(dòng)都屬于該類振動(dòng)。

圖：振動(dòng)源

固有頻率（Natural Frequency）：

平臺(tái)振動(dòng)的周期或頻率與初始（或外界）條件無關(guān)機遇與挑戰，而只與系統(tǒng)的固有特性有關(guān)我有所應，稱為隔振光學(xué)平臺(tái)的固有頻率或者固有周期。通 常來說至關重要，固有頻率越低，系統(tǒng)的隔振性能就越強(qiáng)有所應。

外界振動(dòng)同物體的固有頻率相同時(shí)，通常會(huì)引起共振深刻內涵，往往不是好事，甚至?xí)a(chǎn)生嚴(yán)重后果融合，比如：正常人體的固有頻率為 7.5Hz 左右深入闡釋，其中各部分又有自己的固有頻率完成的事情，如內(nèi)臟為 4~6Hz物聯與互聯，頭部為 8~12Hz 等，正是由于這個(gè)原因改造層面，次聲波（10-5 ~20Hz）對(duì)人體有很大的破壞供給。

固有頻率還分為水平方向和豎直方向經驗分享，通常來說豎直方向的固有頻率對(duì)整體隔振性能的影響趨勢，起到?jīng)Q定性作用上高質量，但在高精密的實(shí)驗(yàn)中，水平方向的固有頻率也是不容忽視的管理，詳情參見三線擺氣浮隔振光學(xué)平臺(tái) TPR 系列的相關(guān)說明合作。

振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間（Damping Settling Time）:

也叫衰減周期極致用戶體驗，是指 ：某一點(diǎn)上開始振動(dòng)到恢復(fù)到初始狀態(tài)所需要的最短時(shí)間應用。若把隔振光學(xué)平臺(tái)簡(jiǎn)化為彈簧振子相貫通，由彈簧振子的回復(fù)力表達(dá)式 ：F=?kx

計(jì)算可知，彈簧振子的周期公式為 ：

從上式分析可知 ：若要縮短隔振光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間緊密協作，通常有兩個(gè)辦法 ：

• 增大彈簧的彈性系數(shù)k發揮重要作用。對(duì)于阻尼隔振光學(xué)平臺(tái)數據顯示，可以換用材質(zhì)較硬的阻尼材料記得牢；對(duì)于充氣平臺(tái)，可以適度增加空氣壓力 去創新。

• 控制隔振光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面的質(zhì)量重要性。在不影響剛度的前提下多種場景，臺(tái)面質(zhì)量越輕規劃，振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間越短帶動擴大，使用效果就越好核心技術。卓立漢光的隔振光學(xué)平臺(tái)主動性，采用優(yōu)質(zhì)鐵磁不銹鋼，上臺(tái)面鋼板厚度為4~6mm道路，在確保系統(tǒng)剛性的前提下指導，整體重量適中，可充分發(fā)揮出平臺(tái)優(yōu)秀的隔振性能集聚。

平面度（Surface Flatness）：

隔振光學(xué)平臺(tái)的平面度狀況，通常是指單位面積內(nèi)建強保護，被測(cè)實(shí)際表面相對(duì)其理想平面的變動(dòng)量。通常國外隔振光學(xué)平臺(tái)的平面度指標(biāo)為 ：±0.1mm/600mm×600mm使命責任，卓立漢光的隔振光學(xué)平臺(tái)合規意識，通過精密磨削工藝，將平面度指標(biāo)提高到 0.02~0.05mm/600mm×600mm機遇與挑戰。

但嚴(yán)格意義上來說善於監督，隔振光學(xué)平臺(tái)平面度，對(duì)于隔振性能適應能力，沒有任何影響，甚至若為了追求高平面度解決方案，往往會(huì)犧牲掉隔振光學(xué)平臺(tái)的隔振性能增產，原因如下 ：

• 我們知道行動力，隔振光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面，若為達(dá)到高平面度保供，通常需要反復(fù)磨削，在加工過程中品質，多次磨削容易使材料產(chǎn)生形變解決問題，為了減少形變，通常要加厚臺(tái)面相互配合，但我們通過振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間的說明已經(jīng)知道智能化，臺(tái)面加厚質(zhì)量增加處理，平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間往往成倍（甚至幾倍）增加助力各行，在很多精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)中，這是不可接受的確定性；

• 隔振光學(xué)平臺(tái)的磨削是有極限的講故事，這個(gè)加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右，換算成平方米大約為：±0.03mm/m2 面向，但這個(gè)平面度，同大理石平臺(tái)的平面度相差甚遠(yuǎn)規模。所以若您需要高平面度的臺(tái)面講道理，強(qiáng)烈建議您選購大理石平臺(tái)；

• 對(duì)于平臺(tái)上的光學(xué)元件來說延伸，平面度引起的高度差新趨勢，通硨W習？梢院雎圆挥?jì)，若確有必要考慮高度差應用優勢，則完*可以通過卓立漢光精密調(diào)整的滑臺(tái)來實(shí)現(xiàn)高效節能。

綜上所述新創新即將到來，隔振光學(xué)平臺(tái)的平面度設施，同隔振光學(xué)平臺(tái)的隔振性能不相關(guān)規模設備，只能做為隔振光學(xué)平臺(tái)的一個(gè)輔助指標(biāo)指導，供參考。

振幅（Amplitude）：

振動(dòng)物體離開平衡位置的最大距離叫振動(dòng)的振幅。

振幅在數(shù)值上等于最大位移的大小橫向協同。對(duì)于隔振光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)，臺(tái)面受外力作用時(shí)建立和完善，離開平衡位置的最大距離大型，同隔振光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、受力大小統籌發展、受力的位置體系、瞬時(shí)加速度、速度共同、持續(xù)時(shí)間經過、臺(tái)面的剛性解決方案、隔振系統(tǒng)的阻尼比等諸多因素有著非常復(fù)雜的非線性函數(shù)關(guān)系，如果標(biāo)稱振幅的具體指標(biāo)增產，需要注明上述特定的實(shí)驗(yàn)條件，否則振幅的指標(biāo)行動力，沒有意義良好。對(duì)于阻尼隔振的隔振光學(xué)平臺(tái)，振幅通常在微米量級(jí)自動化裝置，而氣浮式隔振光學(xué)平臺(tái)振幅通常為亞微米量級(jí)應用前景。卓立漢光及國外廠商的隔振光學(xué)平臺(tái)并未標(biāo)稱隔振光學(xué)平臺(tái)振幅的指標(biāo)。

表面粗糙度（Surface Roughness）：

有部分廠家，在隔振光學(xué)平臺(tái)的指標(biāo)中可能性更大，標(biāo)稱表面粗糙度的概念部署安排，往往存在一些誤導(dǎo)技術。國家標(biāo)準(zhǔn) GB/T3505-2000 中規(guī)定了評(píng)定表面粗糙度的各種參數(shù)，其中常用的是輪廓算術(shù)平均偏差 Ra資源配置。輪廓算術(shù)平均偏差 Ra 是指在取樣長度內(nèi)，沿測(cè)量方向（z 方向）的輪廓線上的點(diǎn)與基準(zhǔn)線之間距離絕對(duì)值的算術(shù)平均值綠色化。

若只標(biāo)稱 Ra 的數(shù)值保持穩定，但并未公布取樣長度支撐作用，這樣的數(shù)值標(biāo)稱變得毫無意義，而且有誤導(dǎo)消費(fèi)者的可能相結合。比如說支撐能力，標(biāo)稱表面粗糙度為：0.5~0.8µm特征更加明顯，但若取樣長度分別為 10mm、1mm 和 0.1mm講理論，實(shí)際上表面粗糙度的差別可達(dá)百倍措施！

根據(jù) GB1031 的推薦值 ：取樣長度若取 0.25mm 時(shí)，精密及超精密加工表面的表面粗糙度 Ra ＞ 0.02~0.1µm ；當(dāng)取樣長度取 0.8mm時(shí)積極拓展新的領域，普通精加工表面 Ra ＞ 0.1~2µm。

根據(jù)上述說明，取樣長度為 0.8mm管理，表面粗糙度為 0.5~0.8µm 時(shí)，表面加工精度屬于一般水平很重要。卓立漢光的隔振光學(xué)平臺(tái)指導，表面粗糙度實(shí)測(cè)指標(biāo)均符合 GB1031 中推薦標(biāo)準(zhǔn)基石之一。

另外，表面粗糙度通常是評(píng)定（小型）零件表面質(zhì)量的指標(biāo)增持能力，屬于微觀幾何形狀誤差共同努力。加工表面的粗糙度是加工過程中多種因素（機(jī)床刀具工件系統(tǒng)、加工方法追求卓越、切削用量逐漸完善、冷卻潤滑液）共同作用的結(jié)果。這些因素的作用過程相當(dāng)復(fù)雜合理需求，而且是不斷變化的是目前主流。所以用不同加工方法或在同樣加工方法、同樣加工條件下加工出來的同一批零件高質量，不同表面不同部位其粗糙度值也不完*相同充分發揮。而且同上面介紹的平面度概念一樣選擇適用，它同隔振光學(xué)平臺(tái)的隔振效果沒有關(guān)系，卓立漢光及國外廠商的隔振光學(xué)平臺(tái)并未標(biāo)稱表面粗糙度的指標(biāo)設計。

撓度（Flexibility）：

撓度是指結(jié)構(gòu)構(gòu)件的軸線或中面由于彎曲引起垂直于軸線或中面方向的線位移業務指導。對(duì)于細(xì)長物體或薄物體，撓度是在受力后彎曲變形程度的度量就此掀開。細(xì)長物體（如梁或柱）的撓度是指在變形時(shí)其軸線上各點(diǎn)在該點(diǎn)處軸線法平面內(nèi)的位移量長足發展。薄板或薄殼的撓度是指中面上各點(diǎn)在該點(diǎn)處中面法線上的位移量。通俗地講穩步前行，撓度就是構(gòu)件的豎向變形結構不合理。

撓度系數(shù)同剛性系數(shù)、抗拉強(qiáng)度逐步改善、楊氏彈性模量等類似意見征詢，是標(biāo)稱材料特性的一個(gè)常數(shù)，對(duì)于隔振光學(xué)平臺(tái)而言大大提高，其它因素相同只有厚度不同的情況下的必然要求，鋼板越厚，撓度越小有很大提升空間。卓立漢光的隔振光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面為三層夾心結(jié)構(gòu)運行好，上臺(tái)面厚度 4~6mm首次，采用鐵磁不銹鋼材質(zhì)時(shí)前景，最大動(dòng)撓度系數(shù)（Maximum Dynamic Deflection Coefficient）一般小于 2~4×10-3 。

最大相對(duì)位移（Maximum Relative Motion Value）：

隔振光學(xué)平臺(tái)中提到的最大相對(duì)位移有別于精密滑臺(tái)中的相關(guān)概念增幅最大，通常隔振光學(xué)平臺(tái)的最大相對(duì)位移指標(biāo)共享應用，是指在特定的測(cè)試條件和環(huán)境中，臺(tái)面本身的變形量標準。比如在一個(gè)隔離了外界振動(dòng)的環(huán)境中示範推廣，放置負(fù)載和空載情況下，通過平面度檢測(cè)儀測(cè)量臺(tái)面的變形即將展開。臺(tái)面的尺寸大幅增加，通常取 300mm×300mm，負(fù)載安置在此面積的中心位置傳承，負(fù)載也有一定的要求（比如取 114 公斤）等特點。

隔振光學(xué)平臺(tái)的最大相對(duì)位移值，主要同平臺(tái)的結(jié)構(gòu)和材料剛性相關(guān)多種，在同樣測(cè)試條件將進一步，且隔振光學(xué)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)和材料相近的情況下，最大相對(duì)位移的值相差不大發展成就。卓立漢光的隔振光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面成就，采用三層夾心結(jié)構(gòu)，上臺(tái)面厚度 4~6mm，采用鐵磁不銹鋼材質(zhì)系統，此時(shí)測(cè)試的最大相對(duì)位移非常重要，在 10-7 mm 量級(jí)，同國外同類產(chǎn)品指標(biāo)相近提升。

重復(fù)定位精度（Repeatability）：

隔振光學(xué)平臺(tái)中的重復(fù)定位精度同精密滑臺(tái)中概念不同高品質，隔振光學(xué)平臺(tái)的重復(fù)定位精度，是指在空載和在一定條件下加上負(fù)載并去 除負(fù)載支撐能力，隔振光學(xué)平臺(tái)最終穩(wěn)定后的高度差資源優勢。這個(gè)指標(biāo)同負(fù)載的大小、加載的位置特征更加明顯、加載時(shí)的速度估算、加速度、卸載時(shí)的速度的可能性、加速度等等指標(biāo)有很大的關(guān)系不要畏懼，對(duì)于充氣式平臺(tái)，還有一個(gè)重要前提應用領域，就是加載前后保持競爭優勢，氣囊中空氣的壓力、溫度和質(zhì)量不發(fā)生變化發展機遇。卓立漢光的隔振光學(xué)平臺(tái)長效機製，在上述各種條件符合特定要求時(shí)，測(cè)試出阻尼式平臺(tái)的重復(fù)定位精度全技術方案，為微米量級(jí)分享，而氣浮式平臺(tái)的重復(fù)定位精度一般為亞毫米量級(jí)。

振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)：

一般來說信息化，為了測(cè)量振動(dòng)信號(hào)而使用加速度傳感器時(shí)方式之一，可確認(rèn)隨著時(shí)間推移而變化的波動(dòng)振幅，但這種振動(dòng)信號(hào)中包含著眾多的頻率范圍新型儲能，因此很難作具體區(qū)分創新能力。

為了作出區(qū)分，人們進(jìn)行了很多的研究範圍，并且發(fā)現(xiàn)求得平衡，根據(jù)頻率的不同，設(shè)備所作出的位移響應(yīng)雖然不同註入新的動力，然而速度響應(yīng)幾乎是相同的領先水平。因此，為了規(guī)定各種活動(dòng)以及對(duì)于設(shè)備所允許的振動(dòng)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)雙重提升，通常使用 1/3 倍頻帶速度譜戰略布局。這一標(biāo)準(zhǔn)曲線的優(yōu)點(diǎn)是能夠表示用速度的有效值來表達(dá)出振動(dòng)事關全面，而非用位移或加速度來表達(dá)，以及如果設(shè)備種類相同狀態，性能開始受影響的速度值也基本相似技術節能。

重心與臺(tái)面的穩(wěn)定度

如放置設(shè)備的平臺(tái)狹窄，或設(shè)備本身的重心過高廣泛認同，會(huì)導(dǎo)致臺(tái)面的穩(wěn)定性出現(xiàn)問題國際要求。

氣浮隔振系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)中心位于兩個(gè)距離最窄的隔振支腿之間。大部分情況下鍛造，重心比隔振機(jī)構(gòu)高時(shí)會(huì)出現(xiàn)荷載問題競爭激烈，從而導(dǎo)致傾斜，傾斜越嚴(yán)重改善，隔振系統(tǒng)的剛性使其產(chǎn)生反彈力智慧與合力，會(huì)出現(xiàn)反復(fù)性地左右搖動(dòng)的現(xiàn)象。

越是剛性高的隔振系統(tǒng)重要的角色，穩(wěn)定度越好開放要求，但隔振性能可能會(huì)較差 ；相反平臺建設，剛性低的隔振系統(tǒng)雖穩(wěn)定度較差服務機製，但隔振性能較好。因此使用，選擇隔振系統(tǒng)時(shí)大幅拓展，需要在穩(wěn)定度——隔振性能之間作出合適的取舍。

解決方案

1）優(yōu)化隔振系統(tǒng)結(jié)構(gòu)優化程度，以此降低負(fù)載重心 積極性；

2）使兩隔振支腿間距變寬 奮勇向前；

被動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)

被動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)一般由質(zhì)量 - 彈簧 - 阻尼系統(tǒng)組成不斷豐富，主要使用線 圈彈簧、隔振橡膠墊或空氣彈簧來隔離地基振動(dòng)組建，或是隔離振動(dòng)源使其振動(dòng)不至于傳遞到地基各有優勢。該系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)為簡(jiǎn)單的構(gòu)成即可獲得最大的隔振效果，但其缺點(diǎn)為在低頻段的共振重要的意義，需要很長的穩(wěn)定時(shí)間持續。

主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)

被動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)在低頻段難以隔離振動(dòng)，為改善其隔振性能再獲，主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)安裝振動(dòng)傳感器和執(zhí)行器產品和服務，以此有效控制振動(dòng)。

主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)上臺(tái)面安裝振動(dòng)傳感器體驗區，測(cè)量上臺(tái)面振動(dòng)增多，由反饋控制主動(dòng)控制力消除振動(dòng)活動上，同時(shí)主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)可以預(yù)測(cè)地板的振動(dòng)，由前反饋控制主動(dòng)控制力消除地板的振動(dòng)進一步推進。使用這一控制系統(tǒng)導向作用，不僅能夠大幅改善被動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)的特性，還能有效改善低頻段隔振性能應用的選擇，并且不會(huì)出現(xiàn)共振十大行動。

隔振光學(xué)平臺(tái)的檢驗(yàn)說明

卓立漢光具有檢測(cè)隔振光學(xué)平臺(tái)的設(shè)備和能力，主要設(shè)備包括 ：刀口尺背景下、平面度檢測(cè)儀強化意識、振動(dòng)頻率檢測(cè)儀等。

隔振光學(xué)平臺(tái)的檢驗(yàn)基本情況，對(duì)于檢驗(yàn)設(shè)備和檢驗(yàn)環(huán)境的要求較高的積極性，我們不提供出貨以后的精度檢驗(yàn)服務(wù)。詳情請(qǐng)聯(lián)系相關(guān)（銷售）人員或參照本手冊(cè)中電動(dòng)產(chǎn)品綜合介紹部分的檢驗(yàn)說明至關重要。

近年來不久前，卓立漢光一直關(guān)注并努力改善隔振光學(xué)平臺(tái)的動(dòng)力學(xué)性能，并致力于隔振光學(xué)平臺(tái)隔振性能的研究提升行動。卓立漢光研發(fā)能力建設、生產(chǎn)、 銷售的隔振光學(xué)平臺(tái)是通過技術(shù)改進(jìn)研究進展，不斷完善無障礙，并經(jīng)過包括科研單位及很多工業(yè)企業(yè)的試驗(yàn)、演示快速融入，創(chuàng)新開發(fā)出來的高科技產(chǎn)品認為。

此外，我們還代理眾多國外知*隔振光學(xué)平臺(tái)廠商的產(chǎn)品增強，包括 ：韓國大一（DAEIL SYSTEM）重要意義、日本西格瑪（ SIGMA KOKI）等。

我們將秉承 “客戶至上更加廣闊，質(zhì)量?jī)?yōu)先” 的質(zhì)量方針規劃，貫徹 “研發(fā)創(chuàng)新、快速反應(yīng)可以使用、優(yōu)質(zhì)服務(wù)” 的經(jīng)營理念進入當下，發(fā)揮 “高新技術(shù)企業(yè)” 的優(yōu)勢(shì)，走技術(shù)型效高化、專業(yè)化道路新體系，為隔振光學(xué)平臺(tái)市場(chǎng)，帶來更多創造、更好不難發現、更新的產(chǎn)品法治力量。