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卓立漢光一體式主動隔振平臺

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卓立漢光一體式主動隔振平臺開展試點，一體式隔振系統(tǒng)攜手共進，占用空間小、高集成度的主動隔振平臺推進一步。

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卓立漢光一體式主動隔振平臺

FSD快速整定平臺系列主動隔振系統(tǒng)

特點：

  • 一體式隔振系統(tǒng)經過，占用空間小

  • 單向最高提供1280N推力

  • 6自由度主動隔振

  • 主動隔振帶寬低至0.8Hz起

  • 自研控制系統(tǒng)

  • 零部件國產(chǎn)化

卓立漢光一體式主動隔振平臺

型號

FSD100A

FSD100B

外形尺寸

1000×700×150

1020×875×166

單腿自重

138kg

211kg

主支撐體

鋼彈簧

4腿系統(tǒng)承載

重量

1000kg

1000kg

垂向傳遞率

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

水平向電機 峰值推力

640N

1280N

適用領(lǐng)域

先進量檢測設備

PAD一體式平臺系列主動隔振系統(tǒng)

卓立漢光一體式主動隔振平臺

卓立漢光一體式主動隔振平臺特點：

  • 4個隔振單元組成一體式隔 振系統(tǒng)，便攜安裝

  • 支撐單元多樣化力度，彈簧明確了方向、 氣浮、磁浮可選

  • 6自由度主動隔振

  • 主動隔振帶寬低至0.8Hz起

  • 自研控制系統(tǒng)

  • 零部件國產(chǎn)化

型號

PSQ-BHJI

PSQ-BLFT

PFQ-BTFS

miniPSQ-

BHDD

PSQ-DHLL

外形尺寸

1060×900×200

2020×1370×295

2000×2000×390

400×450×280

定制

自重

121kg

2400kg

5000kg

17kg

130kg*

主支撐體

鋼彈簧

鋼彈簧

空氣彈簧

鋼彈簧

鋼彈簧

系統(tǒng)承載重量

600-1100kg

1200-2000kg

2000-2500kg

50-110kg

600-1100kg

垂向傳遞率

≤-12dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@5Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-10dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-20dB@2Hz

≤-35dB@5Hz

≤-40dB@10Hz

適用領(lǐng)域

SEM 、TEM 單產提升、ACTEM等各類電鏡傳遞，桌面式精密儀器等



北京卓立漢光儀器有限公司

|

手機：13810146393

聯(lián)系人：賀

電話：86-010-56370168-696

傳真：010-56370118

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  • 使用方法說明書、售后服務
  • 其他
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