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ZVI-VB系列主動隔振平臺（真空）

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ZVI-VB系列主動隔振平臺（真空），可以在真空環(huán)境下使用的主動隔振平臺快速融入、能更好適配真空實驗場景認為。

詳細(xì)信息 在線詢價

ZVI-VB系列主動隔振平臺（真空）

特點

  • 空氣彈簧支撐，磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)

  • 機(jī)械式倒立擺負(fù)剛度機(jī)構(gòu)并聯(lián)正剛度機(jī)構(gòu)

  • 適用1E-4Pa的真空環(huán)境

  • 6自由度主動隔振

  • 主動隔振帶寬低至0.5Hz起

  • 標(biāo)品負(fù)載最大支持7000KG

  • 水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)160N

  • 總體規(guī)格（長增強、寬重要意義、高）多種規(guī)格可選

  • 核心控制系統(tǒng)全部自研

  • 核心部件國產(chǎn)化

技術(shù)指標(biāo)

  • 主動隔振帶寬：0.5-150Hz

  • 臺面穩(wěn)定性：≤±5um

  • 傳遞率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz更加廣闊，≤-50dB@10Hz

  • 水平向電機(jī)峰值推力高達(dá)270N

  • 系統(tǒng)支持最大功率400W

  • 臺面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm

                      NTBK：0.1mm/600mm×600mm

                      大理石臺面：0級規劃、1級、2級可以使用、3級可選（GB/T20428-2006）

  • 臺面厚度：100/200/300mm

  • 孔徑：可定制孔徑

  • 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔

  • 標(biāo)品單腿最大承載能力：1800Kg

ZVI-VB系列主動隔振平臺（真空）命名規(guī)則

ZVI-VB系列主動隔振平臺（真空）

選型表：（M進入當下、K、P參考具體臺面信息）

產(chǎn)品型號

整體規(guī)格（L*W：mm）

臺面上負(fù)載要求（kg）

臺面厚度（mm）

隔振器規(guī)格

(L*W*H:mm)

單腿重量

ZVI-VB-30-15M

3000×1500

100-2000

400

1060×900×202

40kg

尺寸圖：

ZVI-VB系列主動隔振平臺（真空）

型號

尺寸（ mm）

L

W

T

H1

H2

ZVI-VB-30-15M

3000

1500

400

900

500

相關(guān)案例：


ZVI-VB系列主動隔振平臺（真空）

  • 光刻機(jī)：確保光刻膠的精確涂布和曝光效高化。

ZVI-VB系列主動隔振平臺（真空）

  • 刻蝕設(shè)備：在納米精度上進(jìn)行精確加工新體系，確保芯片電路的完整性。

ZVI-VB系列主動隔振平臺（真空）

北京卓立漢光儀器有限公司

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手機(jī)：13810146393

聯(lián)系人：賀

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傳真：010-56370118

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