序號

指標名稱

指標參數(shù)

1

測試結(jié)構(gòu)

臥式雙端口；

2

測試口徑

大端口：通光口徑≥φ815mm服務品質，有效口徑≥φ800mm;

小端口: 通光口徑≥φ102mm的發生，有效口徑≥φ100mm；

3

相移方式

QPS波長調(diào)諧相移解相影響；

4

測試光源

波長調(diào)諧相干光源狀態，λ=632.8nm技術節能，相干長度≥100m；

5

CCD指標

分辨率≥2.3K×2.3K廣泛認同，幀率≥50Hz國際要求；

6

φ800mm標準楔形鏡（TF鏡）

標準面面形：PVr優(yōu)于λ/12，中頻誤差PSD1小于0.9nm鍛造，進口熔石英材料競爭激烈；

7

φ800mm標準反射鏡（RF鏡）

標準反射面面形：PVr優(yōu)于λ/12，中頻誤差PSD1小于0.9nm改善，進口微晶材料空白區；

8

系統(tǒng)傳遞函數(shù)

ITF ≥ 0.7 @ 0.4 mm-1（φ800mm大端口系統(tǒng)）；

9

系統(tǒng)精度

系統(tǒng)精度：系統(tǒng)空腔精度PVr優(yōu)于λ/10信息化，中頻誤差PSD1小于0.9nm（φ800mm有效口徑內(nèi)）形勢；

10

系統(tǒng)重復(fù)性精度

系統(tǒng)重復(fù)性精度：系統(tǒng)RMS重復(fù)性優(yōu)于0.63nm，λ/1000（2σ）取得明顯成效；

11

調(diào)焦范圍

光瞳調(diào)焦范圍≥±2.5m約定管轄；

12

ZOOM變焦

ZOOM變焦：1X光學(xué)變焦，50X數(shù)字變焦創新的技術；

13

測試對準方式與角度

測試對準方式與角度：快對準與精密對準方式發揮，對準角度≥±15°/±3°；

14

波長調(diào)諧相移分析軟件

輸出峰谷值（PV）快速增長、標準偏差（RMS）與時俱進、等高圖、X-Y剖面圖初步建立、三維立體圖綜合運用、干涉條紋圖、MTF(光學(xué)傳遞函數(shù))的方法、PSF(點擴散函數(shù))實事求是，澤爾尼科多項式分析、賽德爾相差分析等持續；

分析軟件可進行矩形等多個領域、橢圓再獲、正方形產品和服務、圓、多邊形等數(shù)據(jù)分析功能體驗區；

平行平板類元件測試功能（樣品無需特殊處理）增多，一次干涉條紋數(shù)據(jù)采集可同時得到，平行平板前表面面形有望、后表面面形進一步推進，光學(xué)厚度變化導向作用；

具有材料均勻性測試分析功能；

15

標準反射鏡支撐調(diào)節(jié)

二維手動與電控角度調(diào)節(jié)應用的選擇，整體結(jié)構(gòu)氣浮大范圍移動十大行動；

16

測試工裝

兩維角度調(diào)節(jié)，一維平移調(diào)節(jié)背景下，大范圍氣浮調(diào)節(jié)綜合措施；

17

氣浮隔振平臺

進口TMC氣浮L形隔振平臺，

尺寸≤3500mm1500mm+1500mm×3000mm自然條件。