1.在線檢測去完善，方便快捷；

2.大尺寸檢測空間長遠所需，適應(yīng)在線整盤加工元件的數(shù)字化品控求索。

光學(xué)元件加工過程在線檢測求得平衡，并實時給出面型測試數(shù)據(jù)，指導(dǎo)精確加工空間廣闊。

測量結(jié)構(gòu)：斐索干涉立式結(jié)構(gòu)

通光口徑：Φ150mm

光源波長：632.8nm(進(jìn)口氦氖激光光源)

平面標(biāo)準(zhǔn)鏡：材料：石英至關重要；面型精度PV：λ/20

數(shù)字CCD：CCD分辨率1K*1K

對準(zhǔn)方式：兩點對準(zhǔn)

對準(zhǔn)視場：±2°

相移解相方式：機械相移解相

干涉儀測試空間尺寸:410mm（長）*410mm（寬）*210mm（高）