成像質量良好，結構簡潔

立式結構

操作方便提高，使用簡單

波長調諧式條紋分析系統(tǒng)

測量光學平面面型精度

測量光學元件的材料均勻性

對干涉條紋進行數(shù)據(jù)分析處理機構，給出檢驗報告

測量結構：菲索干涉臥式結構

通光口徑：小端口：φ100mm；大端口二：φ300mm

測試光源：半導體調諧激光光源交流，λ=632.8nm基礎；

相機：分辨率1024×1024

φ100mm標準楔形鏡（TF鏡）：PV優(yōu)于λ/20（φ100mm內(nèi)）

φ300mm標準楔形鏡（TF鏡）：PV優(yōu)于λ/20；

φ300mm標準反射鏡（RF鏡）：PV優(yōu)于λ/20還不大；

系統(tǒng)精度：PV值 λ/20高產；

系統(tǒng)重復性精度：RMS重復性優(yōu)于λ/2000信息化技術；

ZOOM變焦：1-6X連續(xù)變焦；

測試對準方式與角度：快對準與精密對準方式良好，對準角度≥±15°/±3°

尺寸：2400×1200×500mm

重量：約260Kg