電阻率是決定半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的重要參數(shù)方案，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測(cè)試材料的電阻率十大行動。電阻/電阻率測(cè)試方法有很多種科普活動，常見四探針法和范德堡法。對(duì)于規(guī)則圓形的材料樣品強化意識，電阻率測(cè)試比較方便的方法是四探針法長期間，數(shù)字源表四探針測(cè)半導(dǎo)體材料電導(dǎo)率認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表

簡(jiǎn)述

電阻率是用來(lái)表示各種物質(zhì)電阻特性的物理量，某種材料制成的長(zhǎng)為1米現場，橫截面積為1平方米的導(dǎo)體的電阻高端化，在數(shù)值上等于這種材料的電阻率。它反映物質(zhì)對(duì)電流阻礙作用的屬性我有所應，它與物質(zhì)的種類有關(guān)提單產，還受溫度、濕度等因素的影響至關重要。在實(shí)際中我們可能需要測(cè)試一些薄而平的材料的電阻率或是涂層的電阻率發展空間，這時(shí)我們需要使用四探針測(cè)試的方法來(lái)測(cè)試。四探針測(cè)試法簡(jiǎn)單的來(lái)講是將四個(gè)探針等距放置樣品上，外側(cè)兩個(gè)探針提供電流連日來，內(nèi)部?jī)蓚€(gè)探針測(cè)試電壓快速融入，然后通過測(cè)得的數(shù)據(jù)算出電阻率認為。數(shù)字源表四探針測(cè)半導(dǎo)體材料電導(dǎo)率認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表咨詢

測(cè)試方法

測(cè)試電路如圖所示系統，

四探針測(cè)試電阻率連接示意圖

注意：在2線模式下搭建和拆除電路，禁止在4線模式下插拔重要意義。

電路搭建完成后交流等，我們點(diǎn)擊設(shè)置——輸出設(shè)置，將源表調(diào)為4線前面板輸出模式規劃，然后點(diǎn)擊測(cè)量提高，將源表設(shè)置為電流源模式，設(shè)置源限值進入當下，點(diǎn)擊“OUTPUT”紮實。得到測(cè)試值后通過計(jì)算公式計(jì)算電阻率。電阻率的計(jì)算公式為：

V是2新體系、3間測(cè)得的電壓投入力度；

I是1、4間提供的電流不難發現；

w是樣品厚度貢獻法治；

k是樣品直徑與探針間距（s）之比和樣品厚度與探針間距（s）之比決定的修正系數(shù)。如圖所示

修正系數(shù)K值

取值K=K1K2發展需要，上面修正系數(shù)值可以通過查詢四探針使用手冊(cè)獲得高質量。

     數(shù)字源表四探針測(cè)半導(dǎo)體材料電導(dǎo)率認(rèn)準(zhǔn)生產(chǎn)廠家武漢普賽斯儀表，武漢普賽斯儀表自主研發(fā)的高精度源表（SMU）重要組成部分，可以在輸出電流時(shí)測(cè)試電壓流程，也可以在輸出電壓時(shí)測(cè)試電流。輸出電流范圍從皮安級(jí)到安培級(jí)可控勃勃生機，測(cè)量電壓分辨率高達(dá)微伏級(jí)助力各業。支持四線開爾文模式，適用于四探針測(cè)試廣度和深度，可以簡(jiǎn)化測(cè)試連接深入交流，得到準(zhǔn)確的測(cè)試結(jié)果。

     上位機(jī)軟件指導(dǎo)電阻率測(cè)試步驟加強宣傳，測(cè)試方法清晰明確臺上與臺下，即使不熟練的工程師也能迅速掌握測(cè)試方法。內(nèi)置電阻率計(jì)算公式技術發展，測(cè)試結(jié)束后直接從電腦端讀取計(jì)算結(jié)果集聚效應，方便靈活的做后續(xù)處理分析系統(tǒng)主要由源測(cè)量單元、探針臺(tái)和上位機(jī)軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或者后面板三同軸接口連接到源表上互動講。