PFA吸收瓶在半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體純化技術(shù)的應(yīng)用
品名:PFA吸收瓶
規(guī)格:60ml
貨號(hào):RNKW-PFAXSP-60ml
蓋子上螺帽連接管尺寸1/4英寸機構,支持定制加工
電子特氣是一類高純度的特性,具有特殊化學(xué)性質(zhì)的氣體,專門用于半導(dǎo)體基礎,集成電路提供堅實支撐,顯示面板,LED高產,光伏等電子工業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程中信息化技術。這些氣體通常需要達(dá)到的純度標(biāo)準(zhǔn),如99.999%(5N)或更高良好,以確保電子器件的性能和可靠性逐步顯現。
電子特氣(電子特種氣體)在半導(dǎo)體制造中至關(guān)重要,其純度直接影響芯片的性能和良率顯著。PFA(可溶性聚四氟乙烯)吸收瓶因其優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性快速增長、耐腐蝕性和低本底值,成為電子特氣純化(如鼓泡法)的關(guān)鍵設(shè)備占。以下是PFA吸收瓶在電子特氣領(lǐng)域的應(yīng)用及特點(diǎn):
1. PFA吸收瓶的作用
PFA吸收瓶主要用于電子特氣的純化高質量,通過(guò)鼓泡法(吸收法)去除氣體中的金屬雜質(zhì)提供了有力支撐、水分和其他污染物。其工作原理是讓不純氣體通過(guò)裝有特定吸收液的PFA瓶前景,雜質(zhì)被液體吸附或發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進一步意見,從而提高氣體純度
2. 主要應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造:用于晶圓生產(chǎn)中的CVD(化學(xué)氣相沉積)、刻蝕共享應用、摻雜等環(huán)節(jié)的特氣純化
光伏與鋰電行業(yè):高純氣體處理生產能力,確保材料純度
金屬雜質(zhì)分析:如氫氣中的金屬檢測(cè),采用多級(jí)PFA吸收瓶串聯(lián)
PFA吸收瓶的核心優(yōu)勢(shì)
耐腐蝕性:可耐受強(qiáng)酸(如氫氟酸取得了一定進展、王水)完善好、強(qiáng)堿及有機(jī)溶劑
高純度:金屬雜質(zhì)含量極低(鉛大面積、鈾<0.01ppb)積極參與,避免污染氣體
耐溫范圍廣:-200℃至260℃,適用于實(shí)驗(yàn)條件
透明可視:半透明材質(zhì)便于觀察反應(yīng)過(guò)程
可定制化:支持不同尺寸(60ml~3000ml)培養、連接方式(1/4"交流研討、3/8"管路)及多級(jí)串聯(lián)設(shè)計(jì)
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