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資料簡(jiǎn)介
掃描電子顯微鏡(SEM)是依靠電子束與樣品相互作用產(chǎn)生俄歇電子也逐步提升、特征 X 射線和連續(xù)譜 X 射線記得牢、背散射電子等信號(hào)，對(duì)樣品進(jìn)行分析研究重要的作用。
掃描電鏡在表征樣品時(shí)更多可能性，受諸多參數(shù)的影響，不同類型樣品應(yīng)選用合適的參數(shù)足夠的實力，才能呈現(xiàn)出樣品更真實(shí)的表面信息緊迫性。如在不同的加速電壓下，電子束與樣品作用所獲得的信號(hào)會(huì)有很大的差別多種場景。從理論上說多元化服務體系，入射電子在樣品中的散射軌跡可用 Monte Carlo 的方法模擬(如圖1 所示)，并且推導(dǎo)得到入射電子大穿透深度 Zmax擴大公共數據。
Zmax=0.0019(A / Z)1.63E01.71/ρ
圖1 電子在鈦(Ti)金屬中的運(yùn)動(dòng)軌跡
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