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電子顯微鏡成像系統(tǒng)

來源: 深圳市福田區(qū)西派克光學(xué)儀器行    2014年11月25日 13:50  

1顯著、物鏡和消像散器

        物鏡是成像系統(tǒng)的*個(gè)成像透鏡。 —臺(tái)電子顯微鐐性能的好壞開放以來, 主要由物鏡的光學(xué)特性所決定占。 物鏡的任何缺陷都將被成像系統(tǒng)中的其它透鏡進(jìn)—步放大。 因此提供了有力支撐, 要求物鏡的像差盡可能小和有足夠高的放大倍數(shù)激發創作, 通常采用強(qiáng)激磁、 短焦距 (1.5-3mm) 的物鏡及物鏡光闌來降低球差意見征詢。 由于光閑孔徑過小時(shí)提升, 會(huì)因衍射效成使物鏡降低分辨率和因光闡邊緣的污染效應(yīng)使電子束的干擾較強(qiáng), 因此光閑孔徑不能太小。

        消像散器是保證物鏡提高分辨率的—個(gè)重要部件研究成果。 它利用—個(gè)強(qiáng)度和方位可調(diào)節(jié)的嬌止磁場來校正物鏡非軸對稱引起的軸上像散取得了一定進展。

        現(xiàn)在常用的電磁消像散器是由均勻裝在極靴間隙周圍的兩組四對電磁體所組成,每對電磁體均用同極相對的安置方式安裝大面積, 通電流時(shí)積極參與,兩組電磁體分別形成的兩個(gè)橢圓形矯正滋場彼此垂直, 通過改變兩組電磁 的激磁強(qiáng)度和磁場方向— 便能形成—個(gè)非旋轉(zhuǎn)對稱的矯正磁場培養。 若其強(qiáng)度與透鏡像散場相等交流研討, 而方向互相垂直, 就起到了消除像散的作用 形式。

2建設應用、中間鏡和投影鏡

        中間鏡是一個(gè)長焦距可變放大倍數(shù)的弱磁透鏡。 極靴內(nèi)孔較大日漸深入, 放大倍數(shù)在0-20 之間動力。 當(dāng)放大倍數(shù)大于1時(shí)它用來放大物鏡像; 當(dāng)放大倍數(shù)小于1時(shí)互動式宣講, 它用來縮小物鏡像效高性。

        投影鏡是—個(gè)短焦距的強(qiáng)磁透鏡, 使用 上 下對稱的小孔徑極靴— 用以得到大的放大倍數(shù)自動化。 投影鏡具有因定的勵(lì)磁電流提升, 它起著將中問鏡像放大并投射到熒光屏上的作用。

3意向、 三級(jí)放大成儡

        電子顯微鏡的zui高放大倍數(shù)是由儀器性能意料之外、 照相底板 (或熒光屏) 的分辨率等因素決定的, 一般情況下— 二級(jí)放大成像系統(tǒng)可以獲得放大了20萬倍左右的電子像開展面對面。 物鏡將試樣的細(xì)節(jié)放大100倍成像于物鏡像平而人中間鏡將物鏡的像放大20倍成像于投影鏡上系統; 投影鏡將中間鏡的像放大100倍成像于熒光屏上.。放大僧?dāng)?shù)的調(diào)節(jié)進一步提升, 可通過改變中間鑲的勵(lì)as電流來實(shí)現(xiàn)空間廣闊。 中間鎮(zhèn)的勵(lì)磁電流變化后, 物鏡的勵(lì)破電流也要適當(dāng)改變改革創新, 保證物鏡像平面與中間鑲物面熏合知識和技能, 以便獲得聚姥清晰的像。
        在三級(jí)成像系統(tǒng)中新模式, 若改變物就的勵(lì)磁電流實現, 則可使物鏡成像于中間鑲之下. 中間鏡以
物鏡像為 “虛物”, 將其形成為編小的實(shí)像于投影鏡物面A. 由投影鏡成像于熒光屏上組織了, 這樣可得到放大了幾千至幾萬倍的電子像服務體系。用這種方法產(chǎn)生的圖像畸變說服力,可以 由 中間鏡的桶形醋變與投影鑲的枕形醋變互相補(bǔ)償而降低。
        若關(guān)閉物鏡. 用中間鏡代替物鎮(zhèn)成像分析, 則放大倍數(shù)可降到 加100~300左右表示,能獲得視野較大的圖像。

(轉(zhuǎn)載請注明出處 來自西派克顯微鏡原文鏈接:)

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