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TFMS-LD 反射光譜薄膜測厚儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測厚儀,可快速精確地測量透明或半透明薄膜的厚度推進高水平,其測量膜厚范圍為15nm-50um領域,儀器所發(fā)出測試光的波長范圍為400nm-1100nm。此款測試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反射率好宣講,并且采用光纖反射探頭註入新的動力。儀器尺寸小巧,方便于在實驗室中擺放和使用。

詳細信息 在線詢價

 TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測厚儀去完善,可快速精確地測量透明或半透明薄膜的厚度,其測量膜厚范圍為15nm-50um長遠所需,儀器所發(fā)出測試光的波長范圍為400nm-1100nm。此款測試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反射率讓人糾結,并且采用光纖反射探頭規模。儀器尺寸小巧,方便于在實驗室中擺放和使用。

技術(shù)參數(shù)

測量膜厚范圍

15nm-50um

光譜波長

400 nm - 1100 nm

主要測量透明或半透明薄膜厚度

  • 氧化物
  • 氮化物
  • 光刻膠
  • 半導體(硅聯動,單晶硅增持能力,多晶硅等)
  • 半導體化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等)
  • 硬涂層(碳化硅,類金剛石炭)
  • 聚合物涂層(聚對二甲苯行業內卷,聚甲基丙烯酸甲酯追求卓越,聚酰胺)
  • 金屬膜(點擊圖片可查看詳細資料)
  •   

特點

  • 測量和數(shù)據(jù)分析同時進行,可測量單層膜參與能力,多層膜合理需求,無基底和非均勻膜
  • 包含了500多種材料的光學常數(shù),新材料參數(shù)也可很容易地添加充分發揮,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
  • 體積較小高質量,方便擺放和操作
  • 可測量薄膜厚度,材料光學常數(shù)和表面粗糙度
  • 使用電腦操作選擇適用,界面中點擊管理,即可進行測量和分析

精度

0.01nm或0.01%

準確度

0.2%或1nm

穩(wěn)定性

0.02nm或0.02%

光斑尺寸

標準3mm,可以小至3um

要求樣品大小

大于1mm

分光儀/檢測器

  • 400 - 1100 nm 波長范圍
  • 光譜分辨率: < 1 nm
  • 電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W

光源

  • 5W的鎢鹵素燈
  • 色溫:2800K
  • 使用壽命:1000小時

反射探針

  • 光學纖維探針,400um纖維芯
  • 配有分光儀和光源支架

載樣臺

測量時用于放置測量的樣品
 

通訊接口

USB接口業務指導,方便與電腦對接

TFCompanion軟件

  • 強大的數(shù)據(jù)庫包含兩500多種材料的光學常數(shù)(n:折射率改進措施,K:消失系數(shù))
  • 誤差分析和模擬系統(tǒng),保證在不同環(huán)境下對樣品測量的準確性
  • 可分析簡單和復雜的膜系

設(shè)備尺寸

200x250x100mm

重量

4.5kg


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