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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥科晶材料技術(shù)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) VTC-16-3HD
  • 所在地 合肥市
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2017/1/5 16:23:18
  • 訪問(wèn)次數(shù) 628

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VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片zui大尺寸2英寸標準,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式示範推廣。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可以依次在同一樣品上涂覆三種材料即將展開,金靶大幅增加,銀,銅, 它可以與真空泵傳承,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型)等特點,基片zui大尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式多種。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)將進一步,可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀成就,銅, 它可以與真空泵重要方式,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

 

 

技術(shù)參數(shù)

   

輸入功率

  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

輸出功率

  • 1600VDC
  • zui大電流50mA 

樣品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height

樣品臺(tái)

  • 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái)基片可以放在樣品臺(tái)上,可以移動(dòng)三個(gè)位置 
  • 可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)(zui高溫度可到500℃)
  • zui長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5分鐘

控制面板

  • 控制面板為PLC效高性,4.3觸摸屏
  • 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置和基片加熱溫度

真空泵(選配)
 

 

  • VRD-8 120L/M旋片式真空泵(選配)
  • KF25 真空接口設計標準、卡箍,和600mm長(zhǎng)不銹鋼波紋管
  • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
  • 各種高純度金屬靶
  • 需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 (這個(gè)我們不提供)

進(jìn)氣口

一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝進(jìn)氣口互動互補,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量



靶材

 

  • 要求安裝靶材的尺寸:直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm
  • 經(jīng)試驗(yàn)證明此款儀器可濺射的靶材:Au發揮重要帶動作用、Ag、Pt意料之外、Cr和Ni
  • 不可濺射靶材:氧化物文化價值、半導(dǎo)體、一些輕金屬置之不顧、Al不斷完善、Zn、C等
  • 可在本公司選購(gòu)靶材,具體請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接

 外形尺寸
  

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 凈重:50KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期方便,相關(guān)耗材除外基礎上,終身維護(hù)。

質(zhì)量認(rèn)證

   Certified

 


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