微操作低溫和真空探針臺(tái)系統(tǒng)，用于從3.5K到675 K溫度范圍的芯片關鍵技術、晶圓和器件測(cè)試了解情況。
Janis微操作探針臺(tái)用于DC，RF和光纖探針的無(wú)損電氣測(cè)試取得了一定進展。它們?cè)诎雽?dǎo)體完善好、MEMS、超導(dǎo)積極參與、電子問題分析、鐵電、材料科學(xué)交流研討、物理學(xué)和光學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域都非常有用更加完善。 LHe / LN2或機(jī)械閉循環(huán)制冷機(jī)均可制冷。不同的模型將樣品放置在超高真空（UHV）建設應用，超高溫（至675 K）和磁場(chǎng)中支撐作用。
柔性探針針尖
Janis Research的低溫探針臺(tái)新技術(shù)具有特殊的柔性探針針尖，能夠在變溫測(cè)量過(guò)程中吸收探針臂的熱漂移運(yùn)動(dòng)動力。
微型同時、可移動(dòng)的樣品真空腔
Janis還提供了一個(gè)微型、可移動(dòng)的樣品真空腔效高性，能夠需要在空氣中移動(dòng)的過(guò)程中將樣品保持在真空狀態(tài)模式。 真空腔可用于在真空下將晶片/基底從具有特殊環(huán)境的手套箱中轉(zhuǎn)移到真空或低溫微操作探針臺(tái)（或真空腔）中，然后在進(jìn)行準(zhǔn)備完成或者測(cè)試后轉(zhuǎn)移回手套箱中提升「咂焚|？梢苿?dòng)真空腔在裝載和卸載時(shí)都能保護(hù)晶片/基底免受大氣污染。
與普通的真空加載鎖不同，真空腔具有以下功能和優(yōu)點(diǎn)：
● 直徑為50毫米資源優勢，厚度為25毫米的標(biāo)準(zhǔn)尺寸
● 無(wú)需閥門
● 操作簡(jiǎn)單有效保障、方便
● 低成本
● 安裝可移動(dòng)的樣品座時(shí)，無(wú)需提高低溫探針臺(tái)溫度
CCR閉循環(huán)系列探針臺(tái)
振動(dòng)小于1 µm
溫度范圍（安裝了4個(gè)探頭臂）從4.5 K到350 K（可選：6.5 K到475 K或6.5 K到675 K）
最多可容納2英寸（51毫米）直徑的晶圓（可選：8英寸[200毫米]）（有關(guān)更多詳細(xì)信息長效機製，請(qǐng)參見規(guī)格表）
多達(dá)八個(gè)冷卻，易于互換的微操作探針臂
直流至67 GHz的電學(xué)測(cè)量
性價(jià)比高的LF探針數字技術，易于更換
三軸探頭臂的泄漏電流非常低（在1 V時(shí)通常為1至2 fA）
非接觸式奮戰不懈，非破壞性的Kelvin探針
多頭探針
帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂
帶有電纜和電線的附加電氣穿通線到樣品區(qū)域
可選的特殊微型真空腔，可將真空狀態(tài)下的樣品從手套箱轉(zhuǎn)移到探針臺(tái)
適用于所有單筒望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)組件的精確平移xyz行程平臺(tái)
可選的可移動(dòng)樣品座
客戶定制選件
ST-500系列探針臺(tái)
低振動(dòng)和低位置漂移
溫度范圍為約3.5 K至475 K（可選：8 K至650 K）（取決于探頭）
適用于液氮或液氦
氦氣消耗量小于1 L / h
最多可容納2英寸（51毫米）直徑的晶圓（可選：8英寸[203毫米]）
多達(dá)七個(gè)冷卻的措施、易于替換的微操作探針臂
直流至67 GHz的電學(xué)測(cè)量
多種性價(jià)比高的LF探針大大縮短，易于更換
極低的三同軸探針臂漏電電流，僅為幾fA
非接觸式緊密相關、非破壞性的Kelvin探針
多頭探針
帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂
通過(guò)樣品架的可選光學(xué)通道更默契了，用于透射測(cè)量
到樣品區(qū)域的帶有電纜的附加電氣饋通
可選的特殊微型真空室，可將真空下的樣品從存儲(chǔ)箱安裝到探針臺(tái)
適用于所有單筒顯微鏡系統(tǒng)組件的非常平穩(wěn)的x-y-z行程平臺(tái)
可選的可移動(dòng)樣品座
客戶定制選件
在為現(xiàn)有的“濕式”探針臺(tái)尋找無(wú)制冷劑的選擇嗎服務體系？可選的循環(huán)氣體制冷機(jī)消除了在“濕式”系統(tǒng)中使用液氦的麻煩說服力。
