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CCR閉循環(huán)系列探針臺(tái)

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Janis CCR閉循環(huán)系列探針臺(tái)為研究人員提供了真空和低溫測(cè)試功能交流研討,而無需使用液氦,液氮制冷形式。4 K建設應用、10 K和80 K低溫恒溫器使用成熟的GM制冷機(jī)冷卻樣品,性能可靠且價(jià)格合理日漸深入。典型應(yīng)用包括MEMS動力、納米級(jí)電子、超導(dǎo)互動式宣講、鐵電效高性、材料科學(xué)和光學(xué)。

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Janis CCR閉循環(huán)系列探針臺(tái)為研究人員提供了真空和低溫測(cè)試功能自動化,而無需使用液態(tài)制冷劑提升。4 K、10 K和80 K低溫恒溫器使用成熟的Gifford-McMahon(GM)技術(shù)進(jìn)行可靠且價(jià)格合理的樣品冷卻不折不扣。典型應(yīng)用包括MEMS支撐能力、納米級(jí)電子、超導(dǎo)有效保障、鐵電大數據、材料科學(xué)和光學(xué)。


配置:

● 振動(dòng)小于1 µm

● 溫度范圍(安裝了4個(gè)探頭臂)從4.5 K到350 K(可選:6.5 K到475 K或6.5 K到675 K)

● 最多可容納2英寸(51毫米)直徑的晶圓(可選:8英寸[200毫米])(有關(guān)更多詳細(xì)信息,請(qǐng)參見規(guī)格表)

● 多達(dá)八個(gè)冷卻數字技術,易于互換的微操作探針臂

● 直流至67 GHz的電學(xué)測(cè)量

● 性價(jià)比高的LF探針奮戰不懈,易于更換

● 三軸探頭臂的泄漏電流非常低(在1 V時(shí)通常為1至2 fA)

● 非接觸式,非破壞性的Kelvin探針

● 多頭探針

● 帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂

● 帶有電纜和電線的附加電氣穿通線到樣品區(qū)域

● 可選的特殊微型真空腔措施,可將真空狀態(tài)下的樣品從手套箱轉(zhuǎn)移到探針臺(tái)

● 適用于所有單筒望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)組件的精確平移xyz行程平臺(tái)

● 可選的可移動(dòng)樣品座

● 客戶定制選件



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