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MSE-4200S 電子封裝類專用氦質(zhì)譜檢漏儀

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島津氦質(zhì)譜檢漏儀搭載了新型的CPU發揮作用，采用專用的分流泵及中間排氣系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了的低BG恢復(fù)性能和操作性逐步顯現。

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主要特點(diǎn)

  • 檢出靈敏度：10-13-100Pa m3/s (He)
  • 保證生產(chǎn)節(jié)拍 6sec/c銘記囑托，BG：2.5X 10-10Pa m3/s (干燥氮排氣時(shí))
  • 的BG恢復(fù)性能和操作性
  • 大屏幕液晶觸摸屏面板引領，操作簡單
  • 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲（內(nèi)置兩根）

廣州領(lǐng)拓儀器科技有限公司

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