產(chǎn)品概述
RTS2-InSitu 原位拉曼光譜
在科研工作與生產(chǎn)制造中利用好，往往存在一些大型的、不可移動的或者貴重的待檢測物體解決問題，無法放置到常規(guī)顯微鏡或者光路下進行觀測和檢測系列，特別是有很多的應(yīng)用場景例如真空下半導(dǎo)體材料生長過程中的Raman光譜測量，不能破壞真空相互配合，但是又必須進行在線測試慢體驗，又或者有一些樣品在生長完成后需要快速轉(zhuǎn)移到另外一個真空腔室進行VUV波長的測量不要畏懼，因此我司的RTS2-InSitu系列原位光譜測試探頭與系統(tǒng)應(yīng)運而生性能穩定。RTS2-InSitu光譜探頭與系統(tǒng)能靈活地放置到這些物體前進行信號采集發行速度，并基于其高共聚焦性和高靈敏度有效保障，透過防護玻璃共享、窗口等遮擋物對樣品進行測量大局，從而可以研究反應(yīng)室或其他封閉空間內(nèi)的物質(zhì)和化學(xué)反應(yīng)過程簡單化，獲得反應(yīng)過程中的真實可靠數(shù)據(jù)哪些領域、動態(tài)變化信息姿勢、非平衡或瞬態(tài)信息相互融合，同時還避免了非原位測試由于樣品制備和轉(zhuǎn)移等步驟所帶來的污染、遲豫和不可逆性等問題適應性強，這將大大助力藝術(shù)技術交流、考古學(xué)、地質(zhì)學(xué)或材料科學(xué)領(lǐng)域的化學(xué)結(jié)構(gòu)探索拓展。
RTS2-InSitu不但可以對樣品進行原位的PL光譜創造更多，Raman光譜進行測量，也可以升級到時間分辨Raman等功能不斷進步，有效避開熒光干擾工藝技術，還包括LIBS原子光譜。
譜學(xué)類型:
1.Raman
2.PL
3.時間分辨Raman
4.LIBS
RTS2-InSitu 原位拉曼光譜應(yīng)用場景
1.無損表征藝術(shù)品和歷史文物
作為一款可以移動的原位光譜探頭與系統(tǒng)規模，RTS2-InSitu可用于研究不可移動到實驗室的物體近年來。
例如對于藝術(shù)品和歷史文物而言，考慮到文化保護等問題發展目標奮鬥，必須要用玻璃等進行封裝起來技術先進，這個時候用我們的RTS2-InSitu，就可以很好的把光匯聚到被測物上延伸，從而對其進行熒光和Raman等光譜分析認為，得到成分組成等信息。
2.材料科學(xué):對金剛石涂層生長的原位觀察
RTS2-InSitu非常適用于監(jiān)測反應(yīng)室內(nèi)的化學(xué)過程。
例如我們的研究人員使用RTS2-InSitu反應能力，原位觀察熱絲化學(xué)氣相沉積(HF-CVD)反應(yīng)器中鋼材料生長金剛石涂層過程共謀發展。該拉曼探頭配備長工作距離物鏡，高共聚焦性大大抑制在高溫樣品中的黑體輻射的背景干擾結構重塑，同時高靈敏度檢測到薄金剛石層的微弱拉曼信聽得懂。
金剛石涂層因其*強的硬度、化學(xué)惰性和耐磨性高質量發展，被應(yīng)用于眾多機械部件的制造全方位。原位化學(xué)表征有助于優(yōu)化金剛石涂層的生產(chǎn)工藝，例如最小化成品中的應(yīng)力重要平臺。將RTS2-InSitu拉曼探頭放置在 HF-CVD 反應(yīng)器窗口前深刻認識，實時測量在整個涂層和冷卻過程中金剛石的拉曼信號光譜結(jié)果可以直接呈現(xiàn)出反應(yīng)溫度與冷卻后的SP3雜化C-C振動峰變化，即金剛石層的熱應(yīng)力和晶相變化順滑地配合，該結(jié)果有助于金剛石鍍層的品控分析深入。
類似的應(yīng)用場景也可以與MOCVD等相結(jié)合，用于監(jiān)控諸如第三代半導(dǎo)體生長過程中的應(yīng)力前沿技術，晶相等變化情況基礎。
3.高低溫與高壓原位RAMAN光譜測試:可在反應(yīng)池溫度可調(diào)并在高壓下在線觀察樣品拉曼光譜。
4.化學(xué)反應(yīng)動力學(xué)原位RAMAN光譜測試
5.力學(xué)測試原位RAMAN光譜測試,包括對于條狀與薄膜樣品進行拉伸等情況下的顯微RAMAN光譜測試
6.電化學(xué)原位RAMAN光譜測試
典型真空互聯(lián)多模式原位光譜測試工作站
將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對接于超高真空系統(tǒng)多種方式，可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測節(jié)點之一對外開放，用于材料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進行快速無損檢測。
產(chǎn)品特性和核心技術(shù):
模塊化設(shè)計深入交流研討，光學(xué)部分相對獨立資料。
包含光學(xué)顯微鏡、激光離焦量傳感器關註度、自動調(diào)焦和共聚焦耦合光路等等在內(nèi)的全部光學(xué)部分全部集成于一個光學(xué)模組之中橫向協同，作為整體置于超高真空腔體之外，透過視窗玻璃聚焦于真空腔內(nèi)的樣品表面敢於挑戰。
不污染樣品環(huán)境不斷創新。
超高真空系統(tǒng)烘烤時可以整體取走，并在烘烤完畢之后方便地定位安裝提供了遵循。
可根據(jù)用戶需求參與水平，靈活配置激光器、單色儀服務效率、探測器和物鏡等光學(xué)組件明確相關要求。
視窗玻璃厚度像差的補償校正。
拉曼光譜的高收集效率和分辨率統籌發展。
案例1:真空遠程拉曼系統(tǒng)
該案例的應(yīng)用場景為:
1.待檢測樣品樣品放置真空腔室內(nèi)體製，
需要進行顯微觀察顯微觀察同時構建，希望通過光激發(fā)
和收集模塊獲取熒光或拉曼信號。
2.樣品圓盤邊緣向內(nèi)0-10mm為觀測區(qū)域服務延伸，由于轉(zhuǎn)軸遮擋，需要斜向45度進行成像具有重要意義。
3.希望可以通過顯微成像進一步，找到劃痕區(qū)域，并對相應(yīng)位置沾染的微量潤滑油的拉曼信號進行收集強大的功能。
光學(xué)部分設(shè)計概述
1.顯微視覺部分:通過環(huán)形照明燈實際需求，透過真空光窗對樣品進行均勻照明。鏡頭采用100mm等效焦距的特性，工作距離95至120mm可調(diào);物:像放大倍率為1:0.75交流，理論分辨率為
0.005mm，實測分辨率0.006mm(詳見第2.2節(jié)圖像分辨率測試)提供堅實支撐。彩色傳感器為2000萬像素1時畫幅還不大，對應(yīng)成像的范圍為17.6x11.8mm。
2.光激發(fā)與拉曼光譜收集:激光器通過光線分束器耦合進一根光纖跳線中信息化技術，激光從光纖端面照射到顯微鏡中的分光鏡并通過鏡頭聚焦到樣品的表面發揮作用，再通過鏡頭收集熒光或拉曼信號回到光纖中，并傳輸?shù)絾紊珒x和光譜CCD中采集拉曼光譜逐步顯現。這種通過鏡頭以共焦方式施加激發(fā)光的方案優(yōu)勢在于:1銘記囑托、通過鏡頭的聚焦，可以更加準(zhǔn)確地控制光斑的大小和位置;2自動化裝置、所有對于激發(fā)光的調(diào)節(jié)機構(gòu)全部在大氣中示範，方便調(diào)節(jié)，省去了真空中的光纖探針和相應(yīng)的位置調(diào)節(jié)機構(gòu)有很大提升空間。通過這種方式引入單色激發(fā)光的效果詳見第2.3節(jié)
3.機械調(diào)節(jié)裝置:裝配一維電動平移臺運行好，使整個鏡頭的焦點可沿著樣品圓盤表面平動，通過成像尋找表面的劃痕等目標(biāo)的有效手段，掃描光譜的分布等統籌推進。裝配對焦、橫向調(diào)節(jié)和俯仰調(diào)節(jié)等手動調(diào)節(jié)維度關鍵技術，方便客戶將激光光斑聚焦于目標(biāo)位置了解情況。
4.可定制探入式光窗，與客戶的真空腔體連接技術研究，可容納鏡頭在內(nèi)部水平移動10mm的空間重要的，適配高真空<10-4Pa
該套光學(xué)配置的理論分辨率為0.005mm，通過THORLABS的USAF1951標(biāo)準(zhǔn)分辨率板測試姿勢，如上圖中的右圖所示相互融合，能最小分辨的線對編號為右圖虛線框中的“6-3”對照如下1951 USAF測試靶的表格
其分辨率為80.6lp/mm首要任務，對應(yīng)空間分辨率為1mm/(80.6*2)=0.006mm。
5.對樣品圓盤表面的側(cè)向成像實驗
實測可見清晰區(qū)域約0.5mm范圍:
6.引入激光光斑測試
實測可見清晰區(qū)域約0.5mm范圍:
圖3綠色激發(fā)光聚焦到PCB電路板標(biāo)尺的顯微像
通過芯徑100um的多模光纖將波長為520nm的綠色激光引入該套光學(xué)系統(tǒng)中不同需求，聚焦于PCB電路板發展，效果如下面兩張圖所示。其中圖3中的綠色激光光點聚焦到了PCB版的標(biāo)尺部分(位于13mm和14mm刻度線之間)總之，每一小格為1mm日漸深入，實測的光斑直徑約120um。圖4中的綠色激光光點聚焦到了EMMC BGA169封裝結(jié)構(gòu)的電極點陣的區(qū)域同時，其中相鄰電極間距為0.5mm互動式宣講，一個電極盤的直徑約60um。
圖4綠色激發(fā)光來焦到EMMC BGA169封裝的電極點陣的顯微照片
7.拉曼光譜信號的采集實驗
案例一:真空潤滑油案例預(yù)調(diào)試結(jié)果:真空內(nèi)的半導(dǎo)體材料信號捕捉
光路結(jié)構(gòu)示意圖
可定制探入式光窗模式，與客戶的真空腔體連接自動化，可容納鏡頭在內(nèi)部水平移動10mm的空間，適配高真空<10-4Pa
案例2:超高真空顯微高分辨拉曼系統(tǒng)
中科院寧波材料所用戶把制備后的樣品通過真空互聯(lián)運輸?shù)搅硗庖粋€真空腔室高品質，進行真空中的Raman光譜測試不折不扣，以及通過真空掃描臺實現(xiàn)Raman光譜Mapping
空間分辨率
樣品編號:W45-1 GP/Si
測試區(qū)域:GP/Si交界處(硅一階峰強度變化)
測試參數(shù):激光器:532nm
積分時間:1s
光柵刻線:1800 gr/mm
共焦孔:50um
激光功率:7.6mW
325、532健康發展、785激發(fā)時的拉曼信號
樣品編號:W45-1 GP/Si
測試區(qū)域:Si(一階拉曼峰)
采集軟件功能
