超高真空光學(xué)光譜儀測試系統(tǒng)，將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對(duì)接于超高真空系統(tǒng)統籌發展，可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測節(jié)點(diǎn)之一深化涉外，用于材料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對(duì)外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進(jìn)行快速無損檢測。

超高真空光學(xué)顯微鏡/光譜儀測試系統(tǒng)

Ultra-high Vacuum (UHV) Optical / SpectroscopicMicroscope System

將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對(duì)接于超高真空系統(tǒng)生產製造，可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測節(jié)點(diǎn)之一開展試點，用于材料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對(duì)外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進(jìn)行快速無損檢測。

產(chǎn)品特性和核心技術(shù)

模塊化設(shè)計(jì)共同，光學(xué)部分相對(duì)獨(dú)立推進一步。

·包含光學(xué)顯微鏡、激光離焦量傳感器簡單化、自動(dòng)調(diào)焦和共聚焦耦合光路等等在內(nèi)的全部光學(xué)部分全部集成于一個(gè)光學(xué)模組之中力度，作為整體置于超高真空腔體之外，透過視窗玻璃聚焦于真空腔內(nèi)的樣品表面系統性。

·不污染真空內(nèi)環(huán)境勇探新路。

·超高真空系統(tǒng)烘烤時(shí)可以整體取走，并在烘烤完畢之后方便地定位安裝傳遞。

·可根據(jù)用戶需求試驗，靈活配置激光器、單色儀開展攻關合作、探測器和物鏡等光學(xué)組件製度保障。

視窗玻璃厚度像差的補(bǔ)償校正。

·拉曼光譜的高收集效率和分辨率的有效手段。

性能參數(shù)：

注：上述表格中的激光波長統籌推進、物鏡和單色儀等部件可以根據(jù)客戶需求調(diào)整。

測試案例：

超高真空長工作距離（120 mm）顯微測試