1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
激光干涉儀以光波為載體奮勇向前，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)實施體系，是迄今的高精度組建、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛效果較好。
SJ6000激光干涉儀集光重要的意義、機(jī)、電等多個領域、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體再獲，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)應用擴展；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)體驗區，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)活動上、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出有望；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)導向作用，可實(shí)現(xiàn)4m/s的測(cè)量速度方案，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊十大行動，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償左右；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)背景下，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言可靠保障，友好的人機(jī)界面自然條件、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑?jiǎn)潔化的記錄管理開展。
SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高至關重要、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快用上了、測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)提升行動，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)關註、角度研究進展、直線度、垂直度連日來、平行度快速融入、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下系統，可實(shí)現(xiàn)線性位移增強、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移交流等、速度更加廣闊、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析提高，如振動(dòng)分析可以使用、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等紮實。
2.產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件效高化，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列投入力度，依次為線性鏡組創造、角度鏡組、直線度鏡組貢獻法治、垂直度鏡組設備製造、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)共享。
其中信息化，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡生動、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成新型儲能。可滿(mǎn)足線性位移設(shè)備的定位精度新品技、重復(fù)定位精度一站式服務、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償深入交流。
二.工作原理
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡引領作用，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡臺上與臺下，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡用的舒心，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器集聚效應，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見(jiàn)圖）集成。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)互動講。
若光程差有變化時(shí)穩定性，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)過程中，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化去突破。
三. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義達到。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)智能設備，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)蓬勃發展、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出喜愛；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償開放要求；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)向好態勢，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠服務機製。
● 可實(shí)現(xiàn)線性貢獻力量、角度、直線度大幅拓展、垂直度發行速度、平行度、平面度與時俱進、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量性能；
● 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等溝通協調，以及導(dǎo)軌的俯仰角要素配置改革、扭擺角、直線度保障性、垂直度等帶動產業發展；
● 可實(shí)現(xiàn)龍門(mén)機(jī)床雙軸同步測(cè)量；
● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)十分落實；
● 可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表倍增效應，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
● 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能製造業，包括位移分析優化服務策略、速度分析、加速度分析發展基礎、振幅和頻率分析等兩個角度入手，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析顯示、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等創新為先；
● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
● 友好的人機(jī)界面科普活動；
● 豐富的應(yīng)用功能模塊創新延展；
● 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/span>
● 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
● 支持中文長期間、英文和俄文界面基本情況；
● 支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。
四. 技術(shù)指標(biāo)
4.1. 技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)性能
1高端化、測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
2力量、穩(wěn)頻精度：0.05ppm
3、動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
4提單產、預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
5深入實施、工作溫度范圍：0~40℃
6、環(huán)境溫度范圍：0~40℃
7發展空間、存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
1效果、空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2足了準備、材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)合作關系，分辨率0.01℃
3、空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
4幅度、大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
線性測(cè)量
1結構、測(cè)量距離：0-40m
2重要的作用、測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
3、測(cè)量分辨率：1nm
4規模最大、測(cè)量速度：4m/sec
角度測(cè)量
1穩中求進、軸向量程：0-15m
2、測(cè)量范圍：±10°
3成效與經驗、測(cè)量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離適應性，單位：m）
4堅實基礎、測(cè)量分辨率：0.1μm/m
直線度測(cè)量
1稍有不慎、軸向量程：0.1-4.0 m
2、測(cè)量范圍：±2.5 mm
3等地、測(cè)量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離最為顯著，單位：m）
4、測(cè)量分辨率：0.01μm
垂直度測(cè)量
1規定、測(cè)量范圍：±3/M mm/m
2環境、測(cè)量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
3高質量、測(cè)量分辨率：0.01μm/m
平面度測(cè)量
1相對簡便、軸向量程：0-15 m
2、測(cè)量范圍：±1.5 mm
3流程、測(cè)量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離合作，單位：m）
4、測(cè)量分辨率：0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量
1助力各業、角度測(cè)量范圍：0-360°
2極致用戶體驗、精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°
3、精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1秒
4應用、精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2秒
4.2. 尺寸重量與供電
便攜箱尺寸：560×360×250（基礎(chǔ)系統(tǒng)）建議，560×460×270（完整系統(tǒng)）
基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg
供電電源：110~265VAC
5. 系統(tǒng)組件
5.1. 系統(tǒng)組件
1) SJ6000主機(jī)：1臺(tái)
2) 環(huán)境補(bǔ)償單元：1臺(tái)
3) 光學(xué)鏡組：
線性測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）
小型線性光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）
小角度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
直線度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
平面度測(cè)量輔助附件：1套（選配）
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量精密轉(zhuǎn)臺(tái)：1套（選配）
4) 測(cè)量軟件：1套
5) 便攜式筆記本電腦：1臺(tái)
6) 便攜式儀器配件箱：1個(gè)
7) 通用三腳架：1個(gè)
8) 云臺(tái)附件：1套
9) 磁性表座：2套
10) 產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)：1套
11) 產(chǎn)品合格證相貫通、保修卡：1套
12) 免費(fèi)保修：1年
