一組建、 產(chǎn)品描述

　　SuperView W1-Pro光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測先進的解決方案、3C電子玻璃屏及其精密配件拓展、光學(xué)加工、微納材料及制造宣講活動、汽車零部件不斷進步、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工效率、科研院所等領(lǐng)域中規模。可測各類從超光滑到粗糙講道理、低反射率到高反射率的物體表面發展目標奮鬥，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度更多的合作機會、微觀幾何輪廓延伸、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)新趨勢。

二反應能力、產(chǎn)品功能

1.系統(tǒng)光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬小時(shí)超長壽命凝聚力量，終身無需更換製高點項目；

2.測量模式：垂直掃描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI）範圍和領域，結(jié)合VSI和PSI的自適應(yīng)通用測量模式（USI）

3.多區(qū)域自動分析：自動獲取圖案化形貌區(qū)域的三維信息（高度有所增加、寬度、面積更高要求、體積越來越重要的位置、粗糙度、傾角等）共同學習，同時(shí)具有自動統(tǒng)計(jì)分析功能順滑地配合。提供軟件截圖；

4.一體化操作的測量與分析軟件效高，操作無須進(jìn)行切換界面前沿技術，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能性能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能多種方式。

5.測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量技術創新、自動聚焦深入交流研討、自動調(diào)亮度等自動化功能。

6.測量中提供拼接測量功能廣泛應用。

7.分析中提供調(diào)整位置關註度、糾正、濾波哪些領域、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能敢於挑戰，其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能建立和完善；糾正包括空間濾波探索、修描、尖峰去噪等功能產業；濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波情況較常見、過濾頻譜等功能可持續；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

8.分析中提供粗糙度分析體製、幾何輪廓分析服務、結(jié)構(gòu)分析很重要、頻率分析、功能分析等五大分析功能覆蓋，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度異常狀況、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能高效；幾何輪廓分析包括臺階高應用創新、距離、角度機構、曲率等特征測量和直線度的特性、圓度形位公差評定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等基礎；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能提供堅實支撐；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

9.分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能高產，設(shè)置分析模板信息化技術，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實(shí)現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能良好。

三逐步顯現、應(yīng)用領(lǐng)域

　　對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度單產提升、粗糙度傳遞、波紋度、面形輪廓勞動精神、表面缺陷開展攻關合作、磨損情況、腐蝕情況預下達、孔隙間隙的有效手段、臺階高度、彎曲變形情況方案、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析關鍵技術。

應(yīng)用范例：

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片深入、晶圓IC
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度技術研究、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差
超精密加工.光學(xué)透鏡	精密加工.發(fā)動機(jī)葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺階大面積、多刻線粗糙度

四積極參與、性能特色

1.高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)交流研討，保證測量精度高更加完善；

2）的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動建設應用，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲支撐作用，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得的測量重復(fù)性動力。

2.一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作同時，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計(jì)生產效率，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能產能提升；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程節點；

3）幾何分析通過活化、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析的特點、頻率分析健康發展、功能分析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析大數據、多文件分析長效機製，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析數字技術，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能奮戰不懈；

5）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)措施。

3.精密操縱手柄

　　集成X大大縮短、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄緊密相關，可快速完成載物臺平移更默契了、Z向聚焦、找條紋等測量前工作培訓。

 4.雙重防撞保護(hù)措施

　　除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外說服力，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)分析，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)表示，限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)非常激烈。

5.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

　　既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī)競爭力所在，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作集中展示。

五、應(yīng)用案例：