SMP01型傳感器微加工平臺SMP01型傳感器微加工平臺是自主研發(fā)的傳感器微加工集成平臺，包括激光刻蝕特征更加明顯、激光劃片估算、紫外光刻/激光直寫、多路微噴成膜的可能性、等離子微區(qū)沉積不要畏懼、輔助封裝等功能，可低成本的實現(xiàn)氣體傳感器微制造與小批量生產

SMP01型傳感器微加工平臺

SMP01型傳感器微加工平臺是自主研發(fā)的傳感器微加工集成平臺問題，包括激光刻蝕取得顯著成效、激光劃片、紫外光刻/激光直寫實現、多路微噴成膜不容忽視、等離子微區(qū)沉積、輔助封裝等功能服務體系，可低成本的實現(xiàn)氣體傳感器微制造與小批量生產說服力。基于該平臺分析，可研發(fā)多種類微型傳感器表示，包括溫濕度傳感器，催化燃燒型非常激烈、固體電解質型競爭力所在、阻抗型、光學型等類型氣體傳感器及其混合陣列領域，也可以基于多路微噴溝通機製、等離子微區(qū)沉積等技術實現(xiàn)器件上原位的材料微納結構可控成型。

結構設計原理圖 掩膜版曝光圖

平臺實物圖 多路微噴機構