產(chǎn)品特點

• 可測大尺寸樣品：可測單晶片樣品的尺寸為6英寸(150mm)。

• 壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計：高精度控制壓力建議，以滿足不同的工藝要求品率。

• 存儲熱處理工藝：方便工藝參數(shù)調(diào)取，提高實驗效率不斷發展，數(shù)據(jù)可查詢積極影響。

• 快速升溫：升溫速率可達(dá)150℃/s。

• 程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展：可實現(xiàn)不同溫度段的精確控制緊密協作，進(jìn)行降溫段的自動轉(zhuǎn)接越來越重要，并能夠?qū)に嚥藛芜M(jìn)行保存，方便調(diào)用。采用MFC精確控制氣體流量醒悟，最多可支持4路氣體數據顯示，實現(xiàn)不同氣氛環(huán)境（真空、惰性氣氛也逐步提升、氧氣記得牢、氫氣、混合氣等）下的熱處理認為。

• 全自動智能控制：采用全自動智能控制服務好，包括溫度、時間反應能力、氣體流量共謀發展、真空、冷卻水等均可實現(xiàn)自動控制結構重塑。

• 超高安全系數(shù)：采用爐門安全溫度開啟保護(hù)聽得懂、溫控器開啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施，保障設(shè)備使用安全高質量發展。

• 分區(qū)控溫：分區(qū)域控制加熱功率全方位，提高溫度均勻性。

• 國產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力重要平臺，能快速反應(yīng)客戶售后需求。