認識Sensofar西班牙SENSOFAR公司專業(yè)從事研發(fā)明確了方向、設計和制造光學表面量測設備
西班牙SENSOFAR公司專業(yè)從事研發(fā)、設計和制造光學表面量測設備勇探新路。從1999年成立至今裝機超過900臺單產提升。SENSOFAR開創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術結合在一起,設計和制造了NEOX系列的3D光學輪廓儀試驗,它是獲得歐洲設計金獎的產(chǎn)品勞動精神。
其中款的SNEOX具有以下幾點突出優(yōu)勢:
一、 無二的設計結構不合理,將共聚焦和干涉技術結合
SNEOX無需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動實現(xiàn)共聚焦動手能力、白光干涉和Ai多焦面疊加三種功能的切換。使客戶無需花費高昂的費用就能同時擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀意見征詢√嵘??蛻艏磽碛泄簿劢辜夹g的超高XY軸分辨率0.14um,又有干涉技術的亞納米級Z軸分辨率可達0.1nm及高達0.1%的測量重復性。
二的必然要求、 采用四色LED做照明光源研究成果,系統(tǒng)無耗材
SNEOX采用紅、綠完善好、藍大面積、白四色LED做照明光源。超長使用壽命和穩(wěn)定波段的LED保證了設備的穩(wěn)定運行問題分析,也降低了用戶的使用成本培養。
傳統(tǒng)共聚焦激光光源只有3000小時壽命,更換光源需要返廠校準推廣開來。
三推動、 的Microdisplay 技術做到了掃描頭內(nèi)無運動部件
SENSOFAR設計的Microdisplay技術解決了共聚焦掃描一直以來的問題即有部件要高速運動。實現(xiàn)了既能高速掃描又能避免部件運動造成震動影響精度資源配置。
傳統(tǒng)共聚焦掃描頭有一組晶振在振動信息,需要定期校準相關。
四、 采用3CCD模式豐富內涵,拍攝真實清晰地圖片
SNEOX使用2442x2048的CCD生產效率,使用3CCD模式拍攝彩色圖片即每張彩色圖片都是用紅、綠適應性、藍三色光源分別照明后獲取圖像節點,保證每個像素點都能用RGB三原色去還原圖像,紅綠藍三色LED交替照明的方式能幫助獲得最真實和高對比度的圖像落地生根。較短的光波長可以在測量時獲得水平分辨率的特點,較長的光有更好的光學相干性,適合干涉掃描的使用有效保障。
五大數據、 智能編程,自動走位測量
軟件的標配智能編程功能講實踐,用戶可以很簡單的實現(xiàn)定位精確測量或大批重復測量數字技術。軟件還可設置使用權限。
六改革創新、 新增AI FOCUS VIRATION功能實現(xiàn)超快速三維重建
針對部分用戶需要高速測量知識和技能,且測量精度只需要亞微米級的需求,SNEOX加入了FOCUS VIRATION功能新模式,Z軸測量精度小于70nm實現,只需不到3秒就能完成視場內(nèi)的三維形貌掃描。
七組織了、 自動形貌拼接的可能性、圖像預覽導航等豐富功能幫助客戶一臺設備完成多種應用需求。
八服務為一體、 膜厚測量問題,薄膜測量滿足50nm-1.5u測量需求,厚膜測量滿足1.5-5mm測量需求(單層膜)全會精神。多層膜測量需選配光譜反射計系統穩定性。
九、 定制軟件
SensoPro作為一款定制軟件集中展示,針對工廠設計實力增強,既可以避免人為測量誤差,又可以批量高速測量探索創新。
使用SensoPro軟件可以在預先設置好要測量和輸出的數(shù)據(jù)的前提下帶來全新智能,可以在掃描好樣品表面形貌的同時,測量出全部待測樣品的數(shù)據(jù)新產品。不但可以排除人為測量誤差去完善,還具備人為測量不具備的高效率橋梁作用。
Sensofar 表面輪廓儀S Neox可以通過白光干涉求索、相位差干涉讓人糾結、共聚焦、多焦面疊加四種技術對表面進行3D合成穩定發展,適用于幾乎所有粗糙度表面樣品的三維量測基石之一。
廣泛應用于能源、LCD增持能力、微電子共同努力、精密加工、光學器件追求卓越、半導體元件狀態、鐘表、考古指導、汽車、電子消費品等領域國際要求。
設備名稱:表面3D輪廓儀
規(guī)格型號:S Neox
一、硬件部分
1.1 光源及壽命
長壽命高亮度4色LED(紅 630nm競爭激烈,綠 560nm,藍 460nm持續創新,白550nm) 50000小時以上
1.2 相機及成像
5Mpx:2442x2048 60fps高速相機;用紅綠藍三色順序照明獲得真彩照片空白區,圖像色彩及還原性更好
1.3 XY分辨率
0.14µm
1.4 顯微鏡共焦裝置
MicroDisplay設計協調機製,測量頭內(nèi)無運動部件
1.5 掃描模式
干涉物鏡:白光干涉(CSI)、相位差干涉(PSI)擴展相位差干涉(ePSI)形勢、膜厚測量模式
共聚焦物鏡:共聚焦實踐者、連續(xù)共聚焦、共聚焦融合約定管轄、AI多焦面疊加數據、膜厚測量模式
膜厚測量模式:可以測量大于50nm透明膜厚度
1.6 物鏡轉換器及物鏡
1.6.1 電動六孔物鏡轉換器
1.6.2 物鏡參數(shù)
鏡頭種類 | 倍率 | 數(shù)值孔徑(N.A) | 視窗大小(µm) | 工作距離(mm) | 橫向分辨率(µm) | Z向分辨率(nm) | 支持斜率 |
干涉物鏡 | 2.5X | 0.075 | 6750x5640 | 10.3 | 1.87 | 0.01 | 4 |
5X | 0.13 | 3380x2820 | 9.3 | 1.08 | 0.01 | 8 | |
10X | 0.30 | 1690x1410 | 7.4 | 0.46 | 0.01 | 17 | |
共聚焦物鏡 | 20X | 0.45 | 840x700 | 4.5 | 0.31 | 8 | 21 |
50X | 0.8 | 340x280 | 1.0 | 0.17 | 3 | 53 |
1.7 視野范圍
110-3380µm
1.8 樣品側面觀察能力
86度
1.9 電動載物臺
可傾斜發揮,行程不小于114X75mm顯著,
1.10 內(nèi)置專業(yè)避震裝置
有
1.11 支持樣品高度
40mm(可擴展)
1.12 放大倍數(shù)
100-20000
1.13 Z軸精度及線性度
可選壓電陶瓷高精度Z軸掃描模塊,行程200µm
1.14防震機制
大臺面高級防震桌
二開放以來、軟件部分
2.1粗糙度測量部分
2.1.1 同時具備線粗糙度和面粗糙度測量的能力
2.1.2 粗糙度標準
ISO25178 國際標準
2.2 觀察輔助
明場占,暗場,彩色共聚焦提供了有力支撐、共聚焦狹縫
2.3 拼圖功能
有激發創作,拼接范圍為電動平臺移動行程
2.4 具備免費離線軟件與共享功能
2.5 自動操作記憶功能
可存儲測量參數(shù)前景,自動編程實現(xiàn)多點測量。如選配批量分析軟件提升,可自動分析結果給出報告
2.6 工作站
新型工作站配置WINDOWS10 64位專業(yè)版操作系統(tǒng)大大提高,27” 3840 x 2160分辨顯示器
2.7 操作軟件支持的語言
中文、英文
2.8 窗口設計
按鍵式研究成果,可保存及調(diào)用參數(shù)
2.9 支持的掃描模式
白光干涉取得了一定進展、相位差干涉、共聚焦體驗區、主動照明式多焦面疊加增多、膜厚模式等
三、測量性能與追溯性
3.1 XY分辨力
分辨能力不低于0.14微米
3.2 測量顯示分辨率
0.001nm
3.3 Z軸測量分辨率
共聚焦1nm CSI模式下1nm PSI 模式下可達0.01nm
3.4 Z軸測量準確度
臺階高度精度0.5%
3.5 Z軸測量重復性
臺階高度重復性0.1%
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