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- 公司名稱 北京新卓?jī)x器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/19 13:58:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 48
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認(rèn)識(shí)Sensofar西班牙SENSOFAR公司專業(yè)從事研發(fā)互動講、設(shè)計(jì)和制造光學(xué)表面量測(cè)設(shè)備
西班牙SENSOFAR公司專業(yè)從事研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造光學(xué)表面量測(cè)設(shè)備像一棵樹。從1999年成立至今裝機(jī)超過(guò)900臺(tái)過程中。SENSOFAR開(kāi)創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合在一起,設(shè)計(jì)和制造了NEOX系列的3D光學(xué)輪廓儀全面協議,它是獲得歐洲設(shè)計(jì)金獎(jiǎng)的產(chǎn)品重要部署。
其中款的SNEOX具有以下幾點(diǎn)突出優(yōu)勢(shì):
一、 無(wú)二的設(shè)計(jì)工具,將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合
SNEOX無(wú)需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)共聚焦智慧與合力、白光干涉和Ai多焦面疊加三種功能的切換。使客戶無(wú)需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀重要的角色¢_放要求?蛻艏磽碛泄簿劢辜夹g(shù)的超高XY軸分辨率0.14um,又有干涉技術(shù)的亞納米級(jí)Z軸分辨率可達(dá)0.1nm及高達(dá)0.1%的測(cè)量重復(fù)性。
二平臺建設、 采用四色LED做照明光源服務機製,系統(tǒng)無(wú)耗材
SNEOX采用紅、綠使用、藍(lán)大幅拓展、白四色LED做照明光源。超長(zhǎng)使用壽命和穩(wěn)定波段的LED保證了設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行更加堅強,也降低了用戶的使用成本與時俱進。
傳統(tǒng)共聚焦激光光源只有3000小時(shí)壽命,更換光源需要返廠校準(zhǔn)初步建立。
三綜合運用、 的Microdisplay 技術(shù)做到了掃描頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件
SENSOFAR設(shè)計(jì)的Microdisplay技術(shù)解決了共聚焦掃描一直以來(lái)的問(wèn)題即有部件要高速運(yùn)動(dòng)。實(shí)現(xiàn)了既能高速掃描又能避免部件運(yùn)動(dòng)造成震動(dòng)影響精度的方法。
傳統(tǒng)共聚焦掃描頭有一組晶振在振動(dòng)實事求是,需要定期校準(zhǔn)。
四落到實處、 采用3CCD模式責任製,拍攝真實(shí)清晰地圖片
SNEOX使用2442x2048的CCD十分落實,使用3CCD模式拍攝彩色圖片即每張彩色圖片都是用紅、綠促進善治、藍(lán)三色光源分別照明后獲取圖像擴大,保證每個(gè)像素點(diǎn)都能用RGB三原色去還原圖像,紅綠藍(lán)三色LED交替照明的方式能幫助獲得最真實(shí)和高對(duì)比度的圖像發揮效力。較短的光波長(zhǎng)可以在測(cè)量時(shí)獲得水平分辨率新格局,較長(zhǎng)的光有更好的光學(xué)相干性,適合干涉掃描的使用安全鏈。
五顯示、 智能編程,自動(dòng)走位測(cè)量
軟件的標(biāo)配智能編程功能真正做到,用戶可以很簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)定位精確測(cè)量或大批重復(fù)測(cè)量科普活動。軟件還可設(shè)置使用權(quán)限。
六強化意識、 新增AI FOCUS VIRATION功能實(shí)現(xiàn)超快速三維重建
針對(duì)部分用戶需要高速測(cè)量長期間,且測(cè)量精度只需要亞微米級(jí)的需求,SNEOX加入了FOCUS VIRATION功能現場,Z軸測(cè)量精度小于70nm高端化,只需不到3秒就能完成視場(chǎng)內(nèi)的三維形貌掃描。
七我有所應、 自動(dòng)形貌拼接提單產、圖像預(yù)覽導(dǎo)航等豐富功能幫助客戶一臺(tái)設(shè)備完成多種應(yīng)用需求。
八至關重要、 膜厚測(cè)量發展空間,薄膜測(cè)量滿足50nm-1.5u測(cè)量需求,厚膜測(cè)量滿足1.5-5mm測(cè)量需求(單層膜)有所應。多層膜測(cè)量需選配光譜反射計(jì)足了準備。
九、 定制軟件
SensoPro作為一款定制軟件著力提升,針對(duì)工廠設(shè)計(jì)系統,既可以避免人為測(cè)量誤差,又可以批量高速測(cè)量重要意義。
使用SensoPro軟件可以在預(yù)先設(shè)置好要測(cè)量和輸出的數(shù)據(jù)的前提下,可以在掃描好樣品表面形貌的同時(shí)更優美,測(cè)量出全部待測(cè)樣品的數(shù)據(jù)各方面。不但可以排除人為測(cè)量誤差,還具備人為測(cè)量不具備的高效率成效與經驗。
Sensofar 表面輪廓儀S Neox可以通過(guò)白光干涉堅實基礎、相位差干涉、共聚焦重要作用、多焦面疊加四種技術(shù)對(duì)表面進(jìn)行3D合成等地,適用于幾乎所有粗糙度表面樣品的三維量測(cè)。
廣泛應(yīng)用于能源尤為突出、LCD規定、微電子、精密加工空間載體、光學(xué)器件高質量、半導(dǎo)體元件、鐘表重要組成部分、考古流程、汽車(chē)、電子消費(fèi)品等領(lǐng)域勃勃生機。
設(shè)備名稱:表面3D輪廓儀
規(guī)格型號(hào):S Neox
一、硬件部分
1.1 光源及壽命
長(zhǎng)壽命高亮度4色LED(紅 630nm提供有力支撐,綠 560nm,藍(lán) 460nm應用,白550nm) 50000小時(shí)以上
1.2 相機(jī)及成像
5Mpx:2442x2048 60fps高速相機(jī);用紅綠藍(lán)三色順序照明獲得真彩照片加強宣傳,圖像色彩及還原性更好
1.3 XY分辨率
0.14µm
1.4 顯微鏡共焦裝置
MicroDisplay設(shè)計(jì)臺上與臺下,測(cè)量頭內(nèi)無(wú)運(yùn)動(dòng)部件
1.5 掃描模式
干涉物鏡:白光干涉(CSI)、相位差干涉(PSI)擴(kuò)展相位差干涉(ePSI)技術發展、膜厚測(cè)量模式
共聚焦物鏡:共聚焦集聚效應、連續(xù)共聚焦、共聚焦融合重要手段、AI多焦面疊加互動講、膜厚測(cè)量模式
膜厚測(cè)量模式:可以測(cè)量大于50nm透明膜厚度
1.6 物鏡轉(zhuǎn)換器及物鏡
1.6.1 電動(dòng)六孔物鏡轉(zhuǎn)換器
1.6.2 物鏡參數(shù)
鏡頭種類 | 倍率 | 數(shù)值孔徑(N.A) | 視窗大小(µm) | 工作距離(mm) | 橫向分辨率(µm) | Z向分辨率(nm) | 支持斜率 |
干涉物鏡 | 2.5X | 0.075 | 6750x5640 | 10.3 | 1.87 | 0.01 | 4 |
5X | 0.13 | 3380x2820 | 9.3 | 1.08 | 0.01 | 8 | |
10X | 0.30 | 1690x1410 | 7.4 | 0.46 | 0.01 | 17 | |
共聚焦物鏡 | 20X | 0.45 | 840x700 | 4.5 | 0.31 | 8 | 21 |
50X | 0.8 | 340x280 | 1.0 | 0.17 | 3 | 53 |
1.7 視野范圍
110-3380µm
1.8 樣品側(cè)面觀察能力
86度
1.9 電動(dòng)載物臺(tái)
可傾斜像一棵樹,行程不小于114X75mm過程中,
1.10 內(nèi)置專業(yè)避震裝置
有
1.11 支持樣品高度
40mm(可擴(kuò)展)
1.12 放大倍數(shù)
100-20000
1.13 Z軸精度及線性度
可選壓電陶瓷高精度Z軸掃描模塊,行程200µm
1.14防震機(jī)制
大臺(tái)面高級(jí)防震桌
二性能穩定、軟件部分
2.1粗糙度測(cè)量部分
2.1.1 同時(shí)具備線粗糙度和面粗糙度測(cè)量的能力
2.1.2 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)
ISO25178 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
2.2 觀察輔助
明場(chǎng)全面革新,暗場(chǎng),彩色共聚焦情況正常、共聚焦狹縫
2.3 拼圖功能
有行業分類,拼接范圍為電動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)行程
2.4 具備免費(fèi)離線軟件與共享功能
2.5 自動(dòng)操作記憶功能
可存儲(chǔ)測(cè)量參數(shù),自動(dòng)編程實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)測(cè)量提高鍛煉。如選配批量分析軟件發展邏輯,可自動(dòng)分析結(jié)果給出報(bào)告
2.6 工作站
新型工作站配置WINDOWS10 64位專業(yè)版操作系統(tǒng)凝聚力量,27” 3840 x 2160分辨顯示器
2.7 操作軟件支持的語(yǔ)言
中文、英文
2.8 窗口設(shè)計(jì)
按鍵式聽得進,可保存及調(diào)用參數(shù)
2.9 支持的掃描模式
白光干涉新的力量、相位差干涉、共聚焦便利性、主動(dòng)照明式多焦面疊加全面展示、膜厚模式等
三、測(cè)量性能與追溯性
3.1 XY分辨力
分辨能力不低于0.14微米
3.2 測(cè)量顯示分辨率
0.001nm
3.3 Z軸測(cè)量分辨率
共聚焦1nm CSI模式下1nm PSI 模式下可達(dá)0.01nm
3.4 Z軸測(cè)量準(zhǔn)確度
臺(tái)階高度精度0.5%
3.5 Z軸測(cè)量重復(fù)性
臺(tái)階高度重復(fù)性0.1%
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