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桌面式4吋快速退火爐(RTP-3-04系列)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 武漢市
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/11/14 16:29:50
  • 訪問次數(shù) 61

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快速退火爐RTP-3-04系列采用紅外輻射加熱技術(shù)大力發展,可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品(4英寸樣品)快速升溫和降溫,同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)綠色化,可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性不同需求,對(duì)材料的快速熱處理(RTP)發展、快速退火(RTA)保持穩定、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用日漸深入。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

產(chǎn)品特點(diǎn)

    桌面式4吋快速退火爐有以下特點(diǎn):

  • 可測(cè)大尺寸樣品:可測(cè)單晶片樣品的尺寸為4英寸動力。

  • 可遠(yuǎn)程操作:提供遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊。

  • 壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計(jì):高精度控制壓力互動式宣講,以滿足不同的工藝要求效高性。

  • 存儲(chǔ)熱處理工藝:方便工藝參數(shù)調(diào)取,提高實(shí)驗(yàn)效率自動化,數(shù)據(jù)可查詢提升。

  • 快速控溫與高真空:升溫速率可達(dá)150℃/s,真空度可達(dá)到10-3Pa不折不扣。

  • 程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展:可實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確控制支撐能力,進(jìn)行降溫段的自動(dòng)轉(zhuǎn)接,并能夠?qū)に嚥藛芜M(jìn)行保存高效利用,方便調(diào)用特征更加明顯。采用MFC精確控制氣體流量,實(shí)現(xiàn)不同氣氛環(huán)境(真空講理論、氮?dú)獾龋┫碌臒崽幚怼?/span>

  • 的腔體空間設(shè)計(jì):保證大尺寸樣品的溫場(chǎng)均勻性 ≤1%的可能性。

  • 全自動(dòng)智能控制:采用全自動(dòng)智能控制,包括溫度服務為一體、時(shí)間問題、氣體流量、真空全會精神、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制緊密相關。

  • 超高安全系數(shù):采用爐門安全溫度開啟保護(hù)、溫控器開啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施先進技術,保障設(shè)備使用安全培訓。

  • 國(guó)產(chǎn)退火爐:擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力,能快速反應(yīng)客戶售后需求宣講手段。


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