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Hatachi日立S-3700N多功能分析型可變壓掃描電子顯微鏡

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S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡研究超大,超重合作,超高樣品的分析型掃描電鏡● Z大可載樣品直徑達(dá)300mm● Z大觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm● 在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析● 樣品室設(shè)置多種接口勃勃生機,可安裝EDS助力各業、WDS極致用戶體驗、EBSD和CL等多種分析用附件● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)可以傾斜--20~+90 ● 采用節(jié)能,清潔的渦輪分子泵

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S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品介紹:

S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡

研究超大應用,超重建議,超高樣品的分析型掃描電鏡

● zui大可載樣品直徑達(dá)300mm
● zui大觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm
● 在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析
● 樣品室設(shè)置多種接口品率,可安裝EDS、WDS拓展、EBSD和CL等多種分析用附件
● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)可以傾斜--20°~+90° 
● 采用節(jié)能創造更多,清潔的渦輪分子泵

S-3700N技術(shù)參數(shù)


分辨率SE 3.0nm,30KV(高真空模式)
10nm不斷進步, 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm工藝技術,30KV(低真空模式)
放大倍率x5~x300,000
加速電壓0.3~30KV
低真空范圍6~270Pa
圖像電位移±50μm (工作距離 10mm)
zui大裝載樣品直徑300mm


樣品臺(tái)


X150mm
Y110mm
Z5~65mm
R360°
T-20°~90°
觀測(cè)區(qū)域203mm直徑
樣品zui大高110mm(工作距離10mm)
樣品臺(tái)類型優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)


電子光學(xué)系統(tǒng)


燈絲預(yù)對(duì)中燈絲
物鏡光闌4孔活動(dòng)光闌4孔活動(dòng)光闌
槍偏壓固定比例偏壓規模、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓
探測(cè)器二次電子探頭
5分割半導(dǎo)體式被散射探頭
分析位置工作距離10mm近年來,取出角35°


顯示控制系統(tǒng)

控制模式鍵盤(pán)鼠標(biāo)、操縱桿發展目標奮鬥、旋鈕板
顯示器液晶顯示器
輔助功能3D動(dòng)畫(huà)演示功能
電鏡操作導(dǎo)航功能
樣品操作導(dǎo)航功能
傾斜補(bǔ)償功能
存儲(chǔ)圖像精度640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840
圖片格式BMP, TIFF, JPEG
圖像顯示模式全屏模式:1280 x 960
標(biāo)準(zhǔn)模式:640 x 480
分割模式:640 x 480 點(diǎn) x 2
信號(hào)混合模式


真空系統(tǒng)

控制模式全自動(dòng)
分子210升/秒技術先進,一臺(tái)
機(jī)械泵135升/分,一臺(tái)
保護(hù)措施斷電保護(hù)延伸、漏氣保護(hù)


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