Park Systems原子力顯微鏡 XE-15， 具有全面的樣品兼容性的有效手段。其多種樣品臺設(shè)計統籌推進，為不同尺寸、形狀關鍵技術、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測試環(huán)境保護好。解耦合的閉環(huán)XY掃描器，消除了彎曲效應(yīng)誤差表現，提供了的線性度特點。真正的非接觸掃描模式，擴大了適合樣品種類結論，同時極大地延長了探針壽命和諧共生，降低了使用成本。

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15

儀器簡介:

    Park XE-15具有全面的樣品兼容性適應性強。其多種樣品臺設(shè)計技術交流，為不同尺寸、形狀拓展、數(shù)量的樣品提供了方便可靠的測試環(huán)境創造更多。解耦合的閉環(huán)XY掃描器，消除了彎曲效應(yīng)誤差不斷進步，提供了的線性度工藝技術。真正的非接觸掃描模式，擴大了適合樣品種類生產效率，同時極大地延長了探針壽命產能提升，降低了使用成本。

Park Systems原子力顯微鏡 XE-15技術(shù)參數(shù)：

掃描器

XY掃描器

柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）

平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）

Z掃描器

柔性制導(dǎo)強力掃描器

掃描范圍12μm（可選25μm）

共振頻率：>5kHz

表面成像噪聲：0.03nm

樣品臺

樣品臺種類：16位點樣品臺/150mm直徑真空吸附臺（可選200mm直徑真空吸附臺）

樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm

樣品重量：zui大500g

樣品臺移動范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）

主要特點：

一、創(chuàng)新的多位點樣品臺設(shè)計通過活化，提供工作效率

●一次操作zui多可以掃描16個樣品

●樣品安放簡單落地生根，掃描迅速

●極大提高了數(shù)據(jù)的精確性和重復(fù)性

二、支持超大樣品健康發展，滿足業(yè)界發(fā)展需要

●zui大支持200 mm晶圓有效保障，滿足用戶目前和今后的需要

●滿足半導(dǎo)體相關(guān)用戶實際需要的專門設(shè)計

三、豐富的功能模式選擇

●完善支持各種SPM功能

●支持多種選配測量模式

●支持各種可選配件長效機製，擴展性能