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Smart SE智能型多功能橢偏儀

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SmartSE,智能型多功能橢偏儀SmartSE是一款通用型薄膜測量工具

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Smart SE, 智能型多功能橢偏儀
Smart SE 是一款通用型薄膜測量工具動手能力。測試速度快逐步改善,準(zhǔn)確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度提升、光學(xué)常數(shù)(n, k)以及薄膜結(jié)構(gòu)特性(如粗糙度大大提高、光學(xué)梯度及各向異性等)。
Smart SE利用 DeltaPsi2 軟件平臺在幾分鐘內(nèi)對450-1000nm的光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行采集研究成果、建模
分析取得了一定進展。自動化雙軟件操作平臺,從簡化的工作流程到研發(fā)大面積,滿足不同層次和需求的客戶積極參與。
Smart SE是一款性價比的薄膜研發(fā)工具,以經(jīng)濟(jì)實惠的價格提供了研究級的性能培養。標(biāo)配一套完整樣品可視化系統(tǒng)技術,準(zhǔn)確定位分析位置及區(qū)域,7個不同尺寸的微光斑可用于微區(qū)特征分析推動。幾秒鐘即可獲得完整的16位穆勒矩陣,用于復(fù)雜樣本的研究資源配置。

Smart SE配置靈活信息、具備多角度測量能力,可方便實現(xiàn)在線與離線配置切換大力發展。是一款針對單層和多層薄膜進(jìn)行簡單傳承、快速、準(zhǔn)確表征和分析的工具, 可用于在線原為測試建言直達。Smart Se可以滿足各類應(yīng)用領(lǐng)域多種,包括微電子,光伏充分發揮,顯示發展成就,光學(xué)涂料,表面處理和有機(jī)化合物等重要方式。

 

  產(chǎn)品優(yōu)勢
●快速開展面對面、準(zhǔn)確
●易于升級
●光斑可視化




可選附件
●全自動量角器,入射角度從450 到900可調(diào),步徑0.010
●全自動樣品臺:直徑200mm和300mm可選
●可通過法蘭耦合在反應(yīng)腔實現(xiàn)在線監(jiān)測
●冷熱臺
●液體樣品池和電化學(xué)反應(yīng)池
●十字星自準(zhǔn)直系統(tǒng)



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