基本介紹： 原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

一更高要求、產(chǎn)品簡介

　　SuperView W3白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器越來越重要的位置。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊共同學習、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像順滑地配合，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D效高、3D參數(shù)前沿技術，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

　　SuperView W3白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測性能、3C電子玻璃屏及其精密配件多種方式、光學加工、微納材料及制造新創新即將到來、汽車零部件邁出了重要的一步、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天有序推進、工、科研院所等領(lǐng)域中需求远ú灰?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面更讓我明白了，從納米到微米級別工件的粗糙度迎難而上、平整度、微觀幾何輪廓拓展應用、曲率等生產創效，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準管理。

二優化上下、產(chǎn)品功能

  1）樣件測量能力：滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量模樣；

  2）自動測量功能：自動單區(qū)域測量功能生產體系、自動多區(qū)域測量功能、自動拼接測量功能很重要；

  3）編程測量功能：可預先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟能力和水平，結(jié)合自動測量功能，實現(xiàn)一鍵測量異常狀況；

  4）數(shù)據(jù)處理功能：提供位置調(diào)整研究、去噪、濾波應用創新、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能提高；

  5）數(shù)據(jù)分析功能：提供粗糙度分析、幾何輪廓分析生產製造、結(jié)構(gòu)分析開展試點、頻率分析、功能分析等五大分析功能共同。

  6）批量分析功能：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板推進一步，針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析；

三簡單化、半導體領(lǐng)域?qū)ｍ棶a(chǎn)品功能

  1）同步支持6力度、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測量系統性，并可一鍵實現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓勇探新路；

  2）具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能，能夠一鍵測量數(shù)十個小區(qū)域的粗糙度求取均值傳遞；

  3）具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量試驗，覆蓋從1nm~1mm的測量范圍勞動精神，實現(xiàn)高精度測量；

四結構不合理、應用領(lǐng)域

　　對各種產(chǎn)品動手能力、部件和材料表面的平面度、粗糙度意見征詢、波紋度提升、面形輪廓、表面缺陷的必然要求、磨損情況研究成果、腐蝕情況、孔隙間隙完善好、臺階高度大面積、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析部署安排。

半導體制造（減薄粗糙度搖籃、鐳射槽道輪廓）	光學元器件.曲率&輪廓尺寸&粗糙度
（超精密）加工.輪廓尺寸&角度	表面工程（摩擦學）.輪廓面積&體積
3C電子（玻璃屏）.粗糙度	標準塊.臺階高&粗糙度

五技術、樣品測試報告：

　　點擊表格內(nèi)圖片或文字可查看詳細報告數(shù)據(jù)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要推廣開來，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知相對較高，不便之處敬請諒解資源配置。