總體規(guī)格特點(diǎn):
l 重量: 80kg @6inch臺體進入當下，100kg @8inch臺體，120kg @12inch臺體
l 尺寸: 580mm寬x520mm深x700mm高 @6inch臺體效高化，
760mm寬x670mm深x750mm高 @8inch臺體新體系，
930mm寬x900mm深x800mm高 @12inch臺體
l 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長時間舒適的操作創造。
針座臺面規(guī)格:
l U型固定臺面不難發現，拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì)，平整度：±3μm
l 平臺臺面快速線性升降設備製造，升降行程有0mm/0.3mm/3mm三檔扣調(diào)節(jié)發展需要，在探針點(diǎn)測時可以快速抬針，方便對待測點(diǎn)的重選擇
l 平臺臺面微調(diào)線性升降管理，微調(diào)升降行程20mm方式之一，精度1μm。在探針臺加裝探針卡點(diǎn)測時方便對待測點(diǎn)的復(fù)位新型儲能，或者點(diǎn)測相同排列的待測點(diǎn)時創新能力，實(shí)現(xiàn)多根探針或光纖的高效重復(fù)測量。
載臺規(guī)格：（即chuck）
l 6英寸/8英寸/12英寸載臺範圍，平整度：±3μm求得平衡，采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附尺寸為
0.5mmx0.5mm空間廣闊，吸附尺寸6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸英寸
l 載臺X-Y移動平臺至關重要，行程6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，保證待測樣品的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測到服務品質，同時配備微調(diào)旋鈕的發生，微調(diào)精度為1μm，無回差線性調(diào)節(jié)
l 載臺X-Y移動平臺可升級氣浮快速移動影響，移動范圍不小于6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸新的動力，方便快速定位測試點(diǎn)
l 載臺Y方向快速抽進(jìn)抽出，行程2英寸穩定性，方便快遞取放樣品
l 載臺水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°像一棵樹，并微調(diào)±10°，微調(diào)精度0.01°
l 載臺電學(xué)獨(dú)立懸空去突破，可接地或加載背柵電壓能運用。
顯微鏡操控規(guī)格:
l 顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動智能設備，移動范圍50mmX50mm不可缺少，精度1μm
l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦特點，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm積極回應，移動精度1μm
l 顯微鏡快速傾仰±30°功能重要性，方便快速切換多組長焦物鏡，避免鏡頭切換時撞針
顯微鏡可升級Z軸方向氣動快速升降功能平臺建設，方便切換多組長焦物鏡和快速重復(fù)聚焦服務機製。
