HORIBA Smart SE智能型多功能橢偏儀

儀器介紹：

Smart SE智能型多功能橢偏儀是一款針對單層和多層薄膜進行簡單最深厚的底氣，快速，精確表征和分析的工具振奮起來。

多功能性設(shè)計品質，配置靈活，具備多角度測量能力，可方便實現(xiàn)在線與離線配置切換開展攻關合作。

技術(shù)參數(shù)：

• 光譜范圍：450-1000nm

• 多種微光斑自動選擇

• 光斑可視技術(shù)製度保障，可觀測任何樣品表面

• CCD探測器

• 自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向

• 自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

主要特點：

• 一鍵式操作的有效手段，直接報告輸出

• 液晶調(diào)制技術(shù)統籌推進，測量光路中無運動部件

• CCD 探測系統(tǒng)，快速全譜輸出

• 多個微光斑尺寸選擇關鍵技術，可視技術(shù)

• 多角度測量

• 可實現(xiàn)在線測量配置