納米力學(xué)測試儀 iMirco

靈活易用的力學(xué)測試可廣泛用于各種材料和應(yīng)用

iMicro專為壓痕指導、硬度廣泛認同、劃痕測試和多元化納米級測試等納米級力學(xué)測試設(shè)計。iMicro具有多量程加載驅(qū)動器流動性，實現(xiàn)在寬泛的荷載和位移的范圍內(nèi)進行測量鍛造。iMicro能夠測試包括軟質(zhì)高聚物到硬質(zhì)涂層和薄膜等在內(nèi)的各種材料。模塊化系統(tǒng)選項可以完成各種不同應(yīng)用：特定頻率測試持續創新、定量劃痕和磨損測試改善、集成探針成像、高溫測試和自定義方法編程等。

除了能夠推進高惺悄壳爸髁?？蒲兄獬浞职l揮，iMicro還可以為以下材料和行業(yè)進行納米壓痕測試和抗蠕變性測量：

主要功能

• 高度模塊化設(shè)計, 既具有寬泛的測試功能，又可提供高通量的自動化測試功能充分發揮，并配有統(tǒng)計數(shù)據(jù)分析包選擇適用，適用于納米力學(xué)性能測量、掃描探針顯微成像設計、高溫測量和IV電壓電流特性測試實時高效的實驗控制業務指導，簡單易用的測試流程開發(fā)和測試參數(shù)設(shè)置
  

• 標(biāo)準(zhǔn)的InForce 1000電磁驅(qū)動器提供高達1N的驅(qū)動力
  

• 集成高速控制器電子設(shè)備完成告訴數(shù)據(jù)采集高達100kHz，捕獲材料瞬間的響應(yīng)就此掀開，例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象長足發展。儀器使用工業(yè)界最短的時間常數(shù)20μs，精準(zhǔn)捕捉材料瞬間的真實響應(yīng)
  

• 集成了噪音隔離功能的高剛度框架不斷豐富，可確保對各種材料進行準(zhǔn)確測量
  

• 數(shù)碼變焦的高分辨光學(xué)顯微鏡實施體系，精確定位樣本
  

• 納米壓痕專家在線講授專業(yè)納米壓痕課程，以及移動應(yīng)用程序能夠提供測試方法的實時更新
  

功能與選項概覽

KLA 核心技術(shù)

iMicro采用電磁驅(qū)動轉(zhuǎn)換器提供動力各有優勢，電磁驅(qū)動加載模塊技術(shù)因其眾多的優(yōu)勢被廣泛的應(yīng)用在KLA的壓痕設(shè)備中,輕松實現(xiàn)載荷和位移的寬動態(tài)范圍的控制,提供納米級的力學(xué)測試功能, 實現(xiàn)高精度觀察與定位測試樣本,以及樣品高度的簡易調(diào)節(jié)效果較好。在其標(biāo)準(zhǔn)配置中，iMicro采用了InForce 1000驅(qū)動器持續，并提供模塊化控制器以便用戶按需要增加功能等多個領域。iMicro具備高度模塊化設(shè)計,可選配InForce 1000 或InForce 50驅(qū)動器，并實現(xiàn)驅(qū)動器軟件無縫切換產品和服務，設(shè)備提供掃描探針成像功能應用擴展、劃痕及磨損測試功能、高溫納米力學(xué)測試功能增多、連續(xù)剛度測試(CSM) 和高速3D及4D力學(xué)圖譜等模塊化升級選件活動上。該系統(tǒng)兼容ISO 14577國際標(biāo)準(zhǔn)。

iMicro 采用高階的InView™測試控制和數(shù)據(jù)采集軟件,包含用于簡化測試設(shè)置的帶屏幕控制的InviewRunTest進一步推進，可在測試期間或之后進行數(shù)據(jù)分析的 InView ReviewData生產能力，和生成各種綜合性測試報告的 InFocus 軟件。

連續(xù)剛度測量（CSM）

• 壓入循環(huán)期間測量剛度和其他材料特性
  

KLA的連續(xù)剛度測量技術(shù)能夠輕松評估材料在應(yīng)變速率或蠕變效應(yīng)影響下的動態(tài)力學(xué)性能示範推廣。CSM技術(shù)在壓入過程中保持探針以納米級的振幅持續(xù)振動，從而獲得硬度即將展開、模量等力學(xué)性能隨深度大幅增加、載荷、時間或頻率的變化而變化的特性傳承。該選項提供學(xué)術(shù)界與工業(yè)界的恒應(yīng)變速率測試方法等特點，用以測量隨深度或載荷變化的硬度和模量。CSM還可用于其他高級測量選項，其中包括用于存儲和損耗模量測量的ProbeDMA™方法以及AccuFilm™消除基底效應(yīng)的薄測量等將進一步。連續(xù)剛度測量技術(shù)在InQuest控制器和InView軟件中集成充分發揮，可以方便使用并保證數(shù)據(jù)的可靠性。

                使用 CSM 選項測量隨壓入深度而變化的彈性模量

AccuFilm™ 薄膜方法

• 通過校正襯底對測量的影響對超薄膜進行表征
  

基于連續(xù)剛度測量技術(shù)(CSM)并結(jié)合Hay-Crawford模型的新一代AccuFilm™薄膜測試選件可測量附著于襯底的膜層材料成就，使用AccuFilm超薄膜方法是基于KLA科學(xué)家發(fā)明的的新一代超薄膜的測試技術(shù)重要方式，實驗設(shè)置操作簡單，對于軟襯底上的硬質(zhì)膜以及硬襯底上的軟質(zhì)膜系統，AccuFilm都可以校正襯底在膜測量中所帶來的影響非常重要。

使用 AccuFiLm 薄膜法，基底影響模量和純薄膜模量作為歸一化壓痕深度的函數(shù)

NanoBlitz 3D 快速力學(xué)性能分布

• 快速定量地測量表面力學(xué)性能分布

• 測量粗糙表面和/或異質(zhì)材料

• 通過增加觀察次數(shù)給出具有統(tǒng)計意義的結(jié)果

NanoBlitz 3D 采用新一代快速納米壓痕測試技術(shù)快速融入，實現(xiàn)每個壓痕測試時間小于1秒認為。單次試驗壓痕個數(shù)為100000（300X300矩陣），可在用戶的恒定加載力下增強，提供材料彈性模量重要意義，硬度和接觸剛度的三維圖譜「訌V闊？焖偾掖罅康臏y試點極大的提高了統(tǒng)計的準(zhǔn)確性規劃，同時可以直接對不同相或不同特性區(qū)域進行力學(xué)均值、分布和面積占比的統(tǒng)計方便。NanoBlitz 3D功能為用戶提供數(shù)據(jù)可視化和強大的統(tǒng)計數(shù)據(jù)分析處理功能基礎上。

使用 NanoBlitz 3D 選項繪制 WC-CO 復(fù)合材料的硬度分布圖和統(tǒng)計直方圖

NanoBlitz4D 力學(xué)性能斷層掃描

• 基于連續(xù)剛度測量(CSM) 技術(shù)的力學(xué)性能斷層掃描

NanoBlitz 4D力學(xué)譜圖利用InForce 50或InForce 1000驅(qū)動器和Berkovich壓頭為低E/H值和高模量(> 3GPa) 材料生成納米力學(xué)性質(zhì)的4D圖。NanoBlitz4D以每個壓痕5秒的速度完成多達10,000個壓痕（30×30陣列）應用領域，并為陣列中的每個壓痕測量隨深度而變化的楊氏模量(E)保持競爭優勢、硬度(H)和剛度(S)數(shù)值。NanoBlitz 4D采用恒應(yīng)變速率方法發展機遇，為用戶提供數(shù)據(jù)可視化和強大的統(tǒng)計數(shù)據(jù)分析處理功能長效機製。

使用 NanoBlitz 4D 選項針對多層薄膜繪制兩個不同壓入深度的彈性和塑性分布圖

ProbeDMA™ 高聚物測試

聚合物測試包中配置了圓底平頭探針、粘彈性測試標(biāo)樣和粘彈特性的測試方法全技術方案，該測試選件基于連續(xù)剛度測量技術(shù)分享，可在不同頻率條件下對材料進行高效可靠測量，得到儲存模量和損耗模量與頻率的變化關(guān)系信息化。該測量技術(shù)對納米量級的聚合物及聚合物薄膜的力學(xué)表征至關(guān)重要方式之一，優(yōu)于傳統(tǒng)DMA測試設(shè)備。

使用圓底平頭探針測試一系列標(biāo)準(zhǔn)高聚物樣品的儲能模量

劃痕和磨損測試方法

• 壓頭通過樣品表面時對其施加恒定或漸增的載荷

iNano系統(tǒng)可以對多種材料進行劃痕和磨損測試新型儲能。在涂層和薄膜經(jīng)過化學(xué)機械拋光(CMP) 和引線鍵合等的多種工藝處理的時候創新能力，其強度及其對基材的附著力會備受考驗。在加工工藝中範圍，材料是否能抵抗塑性變形并保持完整而不從襯底上起泡非常重要求得平衡。理想情況下紮實做，介電材料具有高硬度和高彈性模量，因為這些參數(shù)有助于了解材料在制造工藝中的性能變化至關重要。

劃痕測試的定量分析

300°C 樣品加熱

• 允許將樣品放入一個腔室中提供深度撮合服務，以便在測試期間對其均勻加熱
  

300°C 的樣品加熱選項允許將樣品放置在一個腔室內(nèi)進行均勻加熱，同時接受測試技術發展。

iNano 樣品加熱選項用于表征高溫下的機械性能集聚效應。

國際標(biāo)準(zhǔn)化的納米壓痕測試

iNano包括預(yù)先內(nèi)置的ISO 14577測試方法，可根據(jù)ISO 14577 標(biāo)準(zhǔn)測量材料硬度更為一致。該測試方法可以自動測量并輸出楊氏模量等形式、儀表硬度、維氏硬度和歸一化壓痕功研究與應用。

按照 ISO14577 標(biāo)準(zhǔn)在一系列標(biāo)準(zhǔn)樣品上所測得的硬度值

iMicro 的其他升級選項

劃痕和磨損測試選項 :  劃痕和磨損測試在探針通過樣品表面時對其施加恒定或漸增的縱向載荷飛躍，可用于表征薄膜、脆質(zhì)陶瓷和高聚物等的多種材料全面協議。

生物軟材料測試選項 :  生物材料測試方法利用核心技術(shù)連續(xù)剛度測試 CSM 表征模量在 1kPa 左右的生物軟材料包含一個平底壓頭和測量軟材料儲存損耗模量的測試方法重要部署，

DataBurst 測試選項 : DataBurst 模式在高達 100 kHz 的速度下觸發(fā)超級數(shù)據(jù)采集，捕獲材料瞬間的響應(yīng)工具，例如鋸齒流變和斷裂現(xiàn)象智慧與合力；允許在真正的步進荷載下測量高應(yīng)變率材料的力學(xué)性能；儀器使用工業(yè)界最短的時間常數(shù)重要的角色，幫助客戶精準(zhǔn)捕捉材料瞬間的真實響應(yīng)開放要求。

InView 開放式軟件編寫平臺 : InView 采用開放式軟件編寫平臺，以幫助客戶在測試過程中實現(xiàn)加載平臺建設，測量和計算的控制服務機製。用于設(shè)計新穎或復(fù)雜的實驗。開放式軟件編寫平臺給予客戶極大的靈活性：幫助客戶輕易采集原始測試數(shù)據(jù)到和最終分析結(jié)果的全面使用使用；客戶可以瀏覽大幅拓展，編輯計算公式，自定義參數(shù)更加堅強，實現(xiàn)個性化試驗設(shè)計與時俱進；用戶可以自由設(shè)計和改變試驗參數(shù)和試驗過程，為探索新的試驗測試提供可能初步建立。

True Test I-V 電學(xué)測試 :  True Test I-V 選項允許用戶向樣品施加特定電壓并測量壓頭的電流綜合運用，以表征納米力學(xué)測量過程中電學(xué)特性的局部變化。

帶有模塊化機架的主動振動隔離 : 在 iMicro 的內(nèi)置被動隔振的基礎(chǔ)上增加主動隔振的方法，為實現(xiàn)超薄薄膜等高難度納米力學(xué)測量提供了的穩(wěn)定性和精確度效果較好。主動隔振系統(tǒng)減少了所有六個自由度的振動，無需進行調(diào)整持續。

高精度線性光學(xué)編碼器平臺 :  線性光學(xué)編碼器  (LOE)  選項，提高了測試過程的定位精度，用于微小結(jié)構(gòu)定位必然趨勢。

壓頭探針和校準(zhǔn)樣品 : InForce 50促進善治、InForce 1000 和Gemini 驅(qū)動器的可互換壓頭包括 Berkovich、立體角多樣性、維氏發揮效力，以及平底和球體壓頭。