納米級光纖激光干涉尺一服務水平、產(chǎn)品簡介光纖激光干涉測量尺是一種高精密度、高靈敏度技術創新、高效快速的位置檢測設備處理方法，可實現(xiàn)非接觸無損傷遠距離檢測，分辨率達納米級持續向好，是科學和工業(yè)發(fā)展中的檢測技術習慣，在微電子、微機械進展情況、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造的積極性、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用，對提升高科技產(chǎn)品加工質量起到了關鍵作用

納米級光纖激光干涉尺

一至關重要、 產(chǎn)品簡介

光纖激光干涉測量尺是一種高精密度不久前、高靈敏度、高效快速的位置檢測設備提升行動，可實現(xiàn)非接觸無損傷遠距離檢測能力建設，分辨率達納米級，是科學和工業(yè)發(fā)展中的檢測技術有效性，在微電子創新內容、微機械機遇與挑戰、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用我有所應，對提升高科技產(chǎn)品加工質量起到了關鍵作用提單產。同時當代激光干涉技術具有靈敏度高、量程大及可適應惡劣環(huán)境等優(yōu)點至關重要，光波可以直接對米進行定義且容易溯源發展空間。基于激光干涉測量的光纖激光尺在非接觸高精度測量領域具有其它測量方法的優(yōu)勢有所應，相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵足了準備，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設計著力提升，保證了更高的穩(wěn)定性深刻內涵，同時具有安裝快捷，易于準直等特點融合，是特別為超高精度位置反饋而設計的深入闡釋，特別是在光刻機領域具有明顯應用價值。

光纖激光干涉尺是零差激光干涉測量系統(tǒng)完成的事情，特別為位置反饋應用而設計物聯與互聯，安裝快捷，易于準直改造層面，可輕松實現(xiàn)固有的高分辨率（到10nm）和最小SDE（電子細分誤差）供給，激光源和探測裝置分離，有效隔離熱源經驗分享，提高測量穩(wěn)定性解決方案。光纖激光干涉尺主要包括激光發(fā)射裝置和干涉測量探頭。激光發(fā)射裝置通過將氦氖激光耦合進入保偏光纖中有力扭轉，并用3m長鎧裝光纖引導至光纖準直裝置上高質量，最終與干涉測量探頭配合使用，為干涉測量裝置提供高質量光源發展需要。激光反射裝置有單軸攻堅克難、雙軸以及三軸三種配置可選，內(nèi)部包括HeNe（氦氖）激光源重要組成部分、用于穩(wěn)頻的電子器件流程、光纖耦合裝置、光纖傳導裝置和軸位置反饋電子器件等勃勃生機。干涉測量探頭是光學測量系統(tǒng)的核心助力各業，包括干涉儀光學系統(tǒng)、多通道條紋檢測系統(tǒng)和光束轉向機構。光纖激光干涉尺提供了三種不同的干涉儀配置應用，包括角錐棱鏡干涉儀建議、平面鏡干涉儀和差分干涉儀。角錐棱鏡干涉儀探頭測量探頭內(nèi)的參考光路和位于測量軸上的角錐反射器目標光路之間的相對位移相貫通，用于單軸線性測量不斷發展。平面鏡干涉儀探頭可以確定安裝在探頭內(nèi)的參考光路和位于測量軸上的平面鏡目標光路之間的相對位移，實現(xiàn)光學倍頻自動化方案，分辨率更高緊密協作，尤其適用于XY平臺測量。差分干涉儀探頭測量兩個平面鏡目標之間的相對位移線上線下，其中一個是固定位置的參考鏡（通常位于工具上）發揮重要作用，確保了過程關鍵組件之間的準確定位，并消除了共模誤差數據顯示。

二高質量、 功能特點

l 高分辨率輸出，分辨率達10nm（可拓展）記得牢。 l

l 高測量精度註入了新的力量，測量精度優(yōu)于0.5ppm，為高精度加工提供精確定位更多可能性。

l 高穩(wěn)頻精度特點，可達0.05ppm（可選配0.02ppm）。

l 測量范圍大重要性，量程可達4m（可拓展）。

l 激光發(fā)射裝置與測量探頭分離多種場景，通過3m鎧裝光纖與電纜連接多元化服務體系，可將激光尺主機遠離被測量設備，便于安裝擴大公共數據，同時還可避免主機散熱對測量通路的影響深度。

l 多種輸出信號可選擇，光纖激光尺可輸出正交數(shù)字差分相信號和1Vpp正余弦信號重要平臺，可以適用于不同的控制器深刻認識。

l 體積小巧，需要安裝在被測設備上的干涉探頭尺寸只有 39x76x120mm應用提升，只有手掌大小主動性，適合狹小空間安裝。

l 多通道輸出發展的關鍵，最多可同時連接三路探頭道路，實現(xiàn)多軸同時測量。

l 開放的 API 接口真諦所在，用戶可以使用 API 接口做二次開發(fā)指導，更好的使用光纖激光尺競爭力。

l 環(huán)境補償功能，一體化的環(huán)境氣象站自動監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù)進一步完善，實時補償溫度集聚、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準確性調整推進。

l 功能強大的測量數(shù)據(jù)分析軟件狀況，具有靜態(tài)和動態(tài)測量機床、光刻機運動平臺建強保護、XY平臺等的線性同期、角度、直線度等測量分析功能使命責任；