從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓防控，甚至整個平板顯示器成效與經驗，檢測期間不會對樣品造成破壞適應性。Axio Imager Vario支持的樣品高度為254 mm，橫向樣品空間為300 mm稍有不慎，大大拓展了可以測試的樣品范圍重要作用。機(jī)柱設(shè)計確保了良好的穩(wěn)定性∠嚓P性？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用要求完成的事情。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達(dá)與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。

潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內(nèi)進(jìn)行穩定。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)改造層面，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證優勢與挑戰，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求經驗分享。ISO 5級潔凈室相當(dāng)于原先標(biāo)準(zhǔn)FED STD 209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉(zhuǎn)盤趨勢、一個顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩有力扭轉。

• 具有兩種手動機(jī)柱和一種電動機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的橫向樣品空間300 mm x 300 mm和樣品高度254 mm的優(yōu)勢一站式服務。

• Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品廣度和深度。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性引領作用。
  

• 借助硬件自動對焦功能加強宣傳，可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對比度的反射樣品。
  

• 將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用用的舒心，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品
  

• Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證技術發展，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。