一、儀器用途
TBM-600 半導(dǎo)體檢測(cè)儀是檢測(cè)雙極型晶體管的基區(qū)寬度範圍，半導(dǎo)體晶片的直徑求得平衡、平整度、光潔度空間廣闊、表面污染至關重要、傷痕等，刻蝕圖形的線條長(zhǎng)雙重提升、寬、直徑間距事關全面、套刻精度表現明顯更佳、分辨率以及陡直、平滑的儀器技術節能。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置指導，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)，視場(chǎng)清晰國際要求×鲃有?？捎糜诎雽?dǎo)體硅晶片、LCD基板、電路板持續創新、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗(yàn)改善，是生物學(xué)、金屬學(xué)協調機製、礦物學(xué)信息化、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)等研究的理想儀器,廣泛應(yīng)用在工廠實踐者、實(shí)驗(yàn)室和教學(xué)及科研等領(lǐng)域取得明顯成效。
二、產(chǎn)品特點(diǎn) 采用無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)及模塊化功能設(shè)計(jì)貢獻力量。長(zhǎng)工作距離明使用，視場(chǎng)大而清晰。廣角平場(chǎng)目鏡：視場(chǎng)直徑Ф22mm發行速度。粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)更加堅強，粗動(dòng)松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置奮勇向前，微動(dòng)格值:2μm不斷豐富。內(nèi)置式可切換偏光觀察裝置，起偏器可360°旋轉(zhuǎn)組建。上光源采用翻蓋式12V50W鹵素?zé)粝涓饔袃瀯?，更換燈炮安全便捷，下光源采用12V/30W鹵素?zé)糁匾囊饬x，加裝散熱片持續。三目鏡筒可自由切換目視觀察與顯微攝影，攝影時(shí)可99%通光再獲。
三產品和服務、技術(shù)參數(shù) 1.目鏡
| 類型 | 放大倍數(shù) | 視場(chǎng)(mm) |
| 平場(chǎng)目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類別 | 放大倍數(shù) | 孔徑數(shù)值 | 工作距離(mm) |
| 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 |
| 20X | 0.40 | 7.2 |
| 40X | 0.60 | 3.0 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X
4.三目鏡,傾斜30˚,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.雙層機(jī)械移動(dòng)式(尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm)
6.粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
7.照明系統(tǒng)：落射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄體驗區、起偏振片
透射 6V 20W 鹵素?zé)?亮度可調(diào),內(nèi)置視場(chǎng)光欄, 藍(lán)濾色片和磨砂玻璃
8.阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降
9.濾色片：(黃,藍(lán),綠,磨砂)
四增多、系統(tǒng)組成 (TBM-600):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五、總放大參考倍數(shù) TBM-600型：50—3500倍
六有望、選購件 1.目鏡: 10X分劃 2.物鏡:50X 60X 80X 3.二維測(cè)量軟件
