一、儀器用途
TBM-800 半導(dǎo)體檢測(cè)儀是檢測(cè)雙極型晶體管的基區(qū)寬度穩定，半導(dǎo)體晶片的直徑改造層面、平整度、光潔度優勢與挑戰、表面污染經驗分享、傷痕等，刻蝕圖形的線(xiàn)條長(zhǎng)趨勢、寬有力扭轉、直徑間距、套刻精度一站式服務、分辨率以及陡直廣度和深度、平滑的儀器。配備大視野目鏡與偏光觀察裝置引領作用，透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng)顯示，視場(chǎng)清晰⌒屎桶?？捎糜诎雽?dǎo)體硅晶片設計能力、LCD基板品牌、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣的檢驗(yàn)更為一致，是生物學(xué)等形式、金屬學(xué)、礦物學(xué)研究與應用、精密工程學(xué)飛躍、電子工程學(xué)等研究的理想儀器,廣泛應(yīng)用在工廠、實(shí)驗(yàn)室和教學(xué)及科研等領(lǐng)域全面協議。
二重要部署、產(chǎn)品特點(diǎn) 配置大視野目鏡和長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)，視場(chǎng)大而清晰工具。配置大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)線上線下，能快速和慢速移動(dòng)。粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)醒悟，粗動(dòng)松緊可調(diào)數據顯示，帶鎖緊和限位裝置，微動(dòng)格值:2μm也逐步提升。6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)記得牢。三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察，可進(jìn)行99%透光攝影重要的作用。不僅可以在目鏡上作顯微觀察更多可能性，還能在計(jì)算機(jī)顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯足夠的實力、保存和打印緊迫性。
三、技術(shù)參數(shù) 1.目鏡
| 類(lèi)型 | 放大倍數(shù) | 視場(chǎng)(mm) |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類(lèi)別 | 放大倍數(shù) | 孔徑數(shù)值 | 工作距離(mm) |
| 長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 |
| 20X | 0.40 | 7.2 |
| 40X | 0.60 | 3.0 |
| 80x | 0.80 | 1.2 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X 800x
4.三目鏡,傾斜30˚,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換)
5.五孔轉(zhuǎn)換器 (外向式滾珠內(nèi)定位)
6.載物臺(tái):三層機(jī)械移動(dòng)式多種場景，尺寸: 250mmX230mm,移動(dòng)范圍: 154mmX154mm
7.粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
8.照明系統(tǒng)：6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)多元化服務體系；帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄,起偏振片,,
9.濾色片組：(黃,藍(lán),綠,磨砂)
10.防霉系統(tǒng)
四擴大公共數據、系統(tǒng)組成 (TBM-800):1.顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.A/D(圖像采集)
五深度、總放大參考倍數(shù) TBM-800型:50—3500倍
六、選購(gòu)件 1.目鏡:16X 10X分劃 2.物鏡:50X 60X 100X 3.二維測(cè)量軟件
