AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅優勢與挑戰、化合物晶圓經驗分享，可以安全高效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查趨勢。

    特點

適應范圍廣有力扭轉、搭配靈活

高度實用性

高度可靠性

·         精密的靈活性

傳輸各種尺寸的硅片

基于硅片的尺寸，AL120系列有3種基本機型一站式服務，單200mm（AL120-L8）廣度和深度、150mm和200mm兼容（AL120-L86）深入交流、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了傳輸硅片已經進行顯微鏡檢查而設計加強宣傳。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片臺上與臺下。

可以傳輸超薄的硅片，到90um

為了應對更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片技術發展，奧林巴斯特殊設計了傳輸手臂集聚效應，可以應對25片裝的200mm的片盒以及到90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查更為一致〉刃问?？赏ㄟ^面板最多可預設10種不同厚度的硅片信息技術的開發。

精密的能力

增強宏觀檢查的功能

LCD顯示屏提供精度和操作方便性

精密的可靠性

對于硅片的安全性

AL120采用的兩種硅片檢測方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置向好態勢。選購的載物臺自動鎖死功能提高了硅片傳輸到真空載物臺的安全性平臺建設。

強大和可靠的顯微鏡

奧林巴斯半導體檢查顯微鏡MX61通過不同的觀察方式：明場、暗場註入了新的力量、微分干涉重要的作用、紅外和深紫外，都可以呈現出高清晰度和高解析的圖像去創新。配備電動物鏡轉盤足夠的實力，與顯微鏡主機的孔徑光瀾具有聯動功能，每一次物鏡的切換結構，孔徑光瀾也會自動變換更適合。

SEMI S2/S8 和RoHS 標準

AL120設計不單只重視傳輸中的硅片的安全，也保證操作者的安全溝通協調，符合SEMI的S2和S8標準要素配置改革，同時也滿足了Rohs標準。

規(guī)格表：